公开(公告)号：US07957449B2

公开(公告)日：2011-06-07

申请号：US11566235

申请日：2006-12-03

申请人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

发明人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

IPC分类号： H01S3/083

CPC分类号： H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

摘要： The invention relates to a two-stage laser system well fit for semiconductor aligners, which is reduced in terms of spatial coherence while taking advantage of the high stability, high output efficiency and fine line width of the MOPO mode. The two-stage laser system for aligners comprises an oscillation-stage laser (50) and an amplification-stage laser (60). Oscillation laser light having divergence is used as the oscillation-stage laser (50), and the amplification-stage laser (60) comprises a Fabry-Perot etalon resonator made up of an input side mirror (1) and an output side mirror (2). The resonator is configured as a stable resonator.

摘要翻译： 本发明涉及一种适用于半导体对准器的两级激光系统，其在利用MOPO模式的高稳定性，高输出效率和细线宽度的同时，在空间相干性方面被减少。 用于对准器的两级激光系统包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 具有发散的振荡激光用作振荡级激光器（50），放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）构成的法布里 - 珀罗标准具共振器 ）。 谐振器被配置为稳定谐振器。

公开(公告)号：US20070091968A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US10554537

申请日：2004-04-16

申请人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

发明人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

IPC分类号： H01S3/22 ,  H01S3/093

CPC分类号： H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

摘要： The invention relates to a two-stage laser system well fit for semiconductor aligners, which is reduced in terms of spatial coherence while taking advantage of the high stability, high output efficiency and fine line width of the MOPO mode. The two-stage laser system for aligners comprises an oscillation-stage laser (50) and an amplification-stage laser (60). Oscillation laser light having divergence is used as the oscillation-stage laser (50), and the amplification-stage laser (60) comprises a Fabry-Perot etalon resonator made up of an input side mirror (1) and an output side mirror (2). The resonator is configured as a stable resonator.

摘要翻译： 本发明涉及一种适用于半导体对准器的两级激光系统，其在利用MOPO模式的高稳定性，高输出效率和细线宽度的同时，在空间相干性方面被减少。 用于对准器的两级激光系统包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 具有发散的振荡激光用作振荡级激光器（50），放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）构成的法布里 - 珀罗标准具共振器 ）。 谐振器被配置为稳定谐振器。

公开(公告)号：US08817839B2

公开(公告)日：2014-08-26

申请号：US13468817

申请日：2012-05-10

申请人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

发明人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

IPC分类号： H01S3/083

CPC分类号： H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

摘要： The invention relates to a two-stage laser system well fit for semiconductor aligners, which is reduced in terms of spatial coherence while taking advantage of the high stability, high output efficiency and fine line width of the MOPO mode. The two-stage laser system for aligners comprises an oscillation-stage laser (50) and an amplification-stage laser (60). Oscillation laser light having divergence is used as the oscillation-stage laser (50), and the amplification-stage laser (60) comprises a Fabry-Perot etalon resonator made up of an input side mirror (1) and an output side mirror (2). The resonator is configured as a stable resonator.

摘要翻译： 本发明涉及一种适用于半导体对准器的两级激光系统，其在利用MOPO模式的高稳定性，高输出效率和细线宽度的同时，在空间相干性方面被减少。 用于对准器的两级激光系统包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 具有发散的振荡激光用作振荡级激光器（50），放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）构成的法布里 - 珀罗标准具共振器 ）。 谐振器被配置为稳定谐振器。

公开(公告)号：US08116347B2

公开(公告)日：2012-02-14

申请号：US10554537

申请日：2004-04-16

申请人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

发明人： Osamu Wakabayashi ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

IPC分类号： H01S3/22

CPC分类号： H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

摘要： The invention relates to a two-stage laser system well fit for semiconductor aligners, which is reduced in terms of spatial coherence while taking advantage of the high stability, high output efficiency and fine line width of the MOPO mode. The two-stage laser system for aligners comprises an oscillation-stage laser (50) and an amplification-stage laser (60). Oscillation laser light having divergence is used as the oscillation-stage laser (50), and the amplification-stage laser (60) comprises a Fabry-Perot etalon resonator made up of an input side mirror (1) and an output side mirror (2). The resonator is configured as a stable resonator.

摘要翻译： 本发明涉及一种适用于半导体对准器的两级激光系统，其在利用MOPO模式的高稳定性，高输出效率和细线宽度的同时，在空间相干性方面被减少。 用于对准器的两级激光系统包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 具有发散的振荡激光用作振荡级激光器（50），放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）构成的法布里 - 珀罗标准具共振器 ）。 谐振器被配置为稳定谐振器。

公开(公告)号：US20110216800A1

公开(公告)日：2011-09-08

申请号：US13107247

申请日：2011-05-13

申请人： Osamu WAKABAYASHI ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

发明人： Osamu WAKABAYASHI ,  Tatsuya Ariga ,  Takahito Kumazaki ,  Kotaro Sasano

IPC分类号： H01S5/50

CPC分类号： H01S3/2308 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/083

摘要： The invention relates to a two-stage laser system well fit for semiconductor aligners, which is reduced in terms of spatial coherence while taking advantage of the high stability, high output efficiency and fine line width of the MOPO mode. The two-stage laser system for aligners comprises an oscillation-stage laser (50) and an amplification-stage laser (60). Oscillation laser light having divergence is used as the oscillation-stage laser (50), and the amplification-stage laser (60) comprises a Fabry-Perot etalon resonator made up of an input side mirror (1) and an output side mirror (2). The resonator is configured as a stable resonator.

摘要翻译： 本发明涉及一种适用于半导体对准器的两级激光系统，其在利用MOPO模式的高稳定性，高输出效率和细线宽度的同时，在空间相干性方面被减少。 用于对准器的两级激光系统包括振荡级激光器（50）和放大级激光器（60）。 具有发散的振荡激光用作振荡级激光器（50），放大级激光器（60）包括由输入侧反射镜（1）和输出侧反射镜（2）构成的法布里 - 珀罗标准具共振器 ）。 谐振器被配置为稳定谐振器。