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1.发明申请公开(公告)号：US20090107952A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：US12273114
申请日：2008-11-18
申请人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
IPC分类号： B44C1/22
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary composition, among others, includes a polymer and a catalytic amount of a negative tone photoinitiator.
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2.发明授权公开(公告)号：US07052821B2
公开(公告)日：2006-05-30
申请号：US10699330
申请日：2003-10-31
申请人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Polymers, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary polymer, among others, includes, a composition having a sacrificial polymer and a photoacid generator.
摘要翻译： 提供聚合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性聚合物，其中包括具有牺牲聚合物和光致酸产生剂的组合物。
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3.发明申请Sacrificial Compositions And Methods Of Fabricating A Structure Using Sacrificial Compositions 失效牺牲组合物和使用牺牲组合物制造结构的方法公开(公告)号：US20090120905A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：US12272978
申请日：2008-11-18
申请人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
IPC分类号： B44C1/22
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary composition, among others, includes a polymer and a catalytic amount of a negative tone photoinitiator.
摘要翻译： 提供了组合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性组合物，其中包括聚合物和催化量的负色调光引发剂。
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4.发明授权Sacrificial compositions and methods of fabricating a structure using sacrificial compositions 有权牺牲组合物和使用牺牲组合物制造结构的方法公开(公告)号：US07459267B2
公开(公告)日：2008-12-02
申请号：US11398183
申请日：2006-04-05
申请人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul Jayachandran Joseph , Hollie Reed , Sue Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
IPC分类号： G03F7/36
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary composition, among others, includes a polymer and a catalytic amount of a negative tone photoinitiator.
摘要翻译： 提供了组合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性组合物，其中包括聚合物和催化量的负色调光引发剂。
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5.发明授权Sacrificial compositions and methods of fabricating a structure using sacrificial compositions 有权牺牲组合物和使用牺牲组合物制造结构的方法公开(公告)号：US07923194B2
公开(公告)日：2011-04-12
申请号：US12273114
申请日：2008-11-18
申请人： Paul A. Kohl , Paul J. Joseph , Hollie K. Reed , Sue Ann Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul J. Joseph , Hollie K. Reed , Sue Ann Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary composition, among others, includes a polymer and a catalytic amount of a negative tone photoinitiator.
摘要翻译： 提供了组合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性组合物，其中包括聚合物和催化量的负色调光引发剂。
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6.发明授权Sacrificial compositions and methods of fabricating a structure using sacrificial compositions 失效牺牲组合物和使用牺牲组合物制造结构的方法公开(公告)号：US07695894B2
公开(公告)日：2010-04-13
申请号：US12272978
申请日：2008-11-18
申请人： Paul A. Kohl , Paul J. Joseph , Hollie K. Reed , Sue Ann Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
发明人： Paul A. Kohl , Paul J. Joseph , Hollie K. Reed , Sue Ann Bidstrup-Allen , Celesta E. White , Clifford Henderson
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114
摘要： Compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary composition, among others, includes a polymer and a catalytic amount of a negative tone photoinitiator.
摘要翻译： 提供了组合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性组合物，其中包括聚合物和催化量的负色调光引发剂。
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