公开(公告)号：US3152720A

公开(公告)日：1964-10-13

申请号：US4567660

申请日：1960-07-27

Applicant: RAYTHEON CO

Inventor： MALONEY HENRY B ,  CORWIN ROBERT D

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/00 ,  H01L21/68 ,  Y10T29/53191

公开(公告)号：US3104451A

公开(公告)日：1963-09-24

申请号：US5460560

申请日：1960-09-08

Applicant: RAYTHEON CO

Inventor： FLODBERG GERHARD A ,  CORWIN ROBERT D

IPC: H01J19/46

CPC classification number: H01J19/46 ,  H01J2893/0007