公开(公告)号：US07338575B2

公开(公告)日：2008-03-04

申请号：US10937946

申请日：2004-09-10

申请人： Richard E. Pingree, Jr. ,  Michael Bruce Colson ,  Michael Silbert

发明人： Richard E. Pingree, Jr. ,  Michael Bruce Colson ,  Michael Silbert

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01J37/32357 ,  C09K5/10 ,  H01J37/32192 ,  H05H1/46

摘要： A process and apparatus for cooling a plasma tube generally includes flowing a hydrocarbon dielectric heat transfer fluid into a space defined by the plasma tube and a concentric tube surrounding the plasma tube. In one embodiment, the hydrocarbon fluid is selected to have a dissipation factor less than 0.002 and a thermal efficiency coefficient greater than or equal to 1.30 kJ/kg*K.

摘要翻译： 用于冷却等离子体管的方法和装置通常包括将烃介电传热流体流入由等离子体管和围绕等离子体管的同心管限定的空间。 在一个实施例中，烃流体被选择为具有小于0.002的耗散因数和大于或等于1.30kJ / kg * K的热效率系数。

公开(公告)号：US20060054281A1

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：US10937946

申请日：2004-09-10

申请人： Richard Pingree ,  Michael Colson ,  Michael Silbert

发明人： Richard Pingree ,  Michael Colson ,  Michael Silbert

IPC分类号： C23F1/00

CPC分类号： H01J37/32357 ,  C09K5/10 ,  H01J37/32192 ,  H05H1/46

摘要： A process and apparatus for cooling a plasma tube generally includes flowing a hydrocarbon dielectric heat transfer fluid into a space defined by the plasma tube and a concentric tube surrounding the plasma tube. In one embodiment, the hydrocarbon fluid is selected to have a dissipation factor less than 0.002 and a thermal efficiency coefficient greater than or equal to 1.30 kJ/kg*K.

摘要翻译： 用于冷却等离子体管的方法和装置通常包括将烃介电传热流体流入由等离子体管和围绕等离子体管的同心管限定的空间。 在一个实施例中，烃流体被选择为具有小于0.002的耗散因数和大于或等于1.30kJ / kg * K的热效率系数。