公开(公告)号：US20080006529A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11851779

申请日：2007-09-07

申请人： Richard Seddon ,  Russell Barbaria ,  Ralf Erz ,  Markus Tilsch

发明人： Richard Seddon ,  Russell Barbaria ,  Ralf Erz ,  Markus Tilsch

IPC分类号： C23C14/00

CPC分类号： C23C14/50 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68764 ,  Y10T29/49895 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T29/53957

摘要： A device for mounting and removing a substrate from a baseplate, in particular a substrate holder assembly device, including automated features for latching and unlatching a substrate, for use in a coating mechanism, from a baseplate, which includes an adjustable snap ring holder.

摘要翻译： 一种用于从基板，特别是基板保持器组件装置安装和移除基板的装置，包括用于从包括可调节卡环的基板在用于涂覆机构中的用于锁定和解锁基板的自动特征。

公开(公告)号：US07954219B2

公开(公告)日：2011-06-07

申请号：US11851779

申请日：2007-09-07

申请人： Richard I. Seddon ,  Russell Edward Barbaria ,  Ralf Erz ,  Markus K. Tilsch

发明人： Richard I. Seddon ,  Russell Edward Barbaria ,  Ralf Erz ,  Markus K. Tilsch

IPC分类号： B25B27/04

CPC分类号： C23C14/50 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68764 ,  Y10T29/49895 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T29/53957

摘要： A device for mounting and removing a substrate from a baseplate, in particular a substrate holder assembly device, including automated features for latching and unlatching a substrate, for use in a coating mechanism, from a baseplate, which includes an adjustable snap ring holder.

摘要翻译： 一种用于从基板，特别是基板保持器组件装置安装和移除基板的装置，包括用于从包括可调节卡环的基板在用于涂覆机构中的用于锁定和解锁基板的自动特征。