公开(公告)号：US06463184B1

公开(公告)日：2002-10-08

申请号：US09335091

申请日：1999-06-17

申请人： Chris Gould ,  K. Paul Muller ,  V. C. Jai Prakash ,  Robert van den Berg

发明人： Chris Gould ,  K. Paul Muller ,  V. C. Jai Prakash ,  Robert van den Berg

IPC分类号： G06K936

CPC分类号： G03F9/7092 ,  G03F7/70633

摘要： A process for measuring the alignment of different layers on a semiconductor wafer (33) includes forming repetitive alignment marks (14, 24) having substantially the same period on the different layers on the wafer (33). The images of the overlay alignment marks (14, 24) are converted from space domain to frequency domain through Fourier transformations. The alignment measurements are performed by calculating the phase difference between the images corresponding to the repetitive patterns (14, 24) on different layers.

摘要翻译： 用于测量半导体晶片（33）上的不同层的对准的方法包括在晶片（33）上的不同层上形成具有基本上相同周期的重复对准标记（14,24）。 覆盖对齐标记（14,24）的图像通过傅立叶变换从空间域转换到频域。 通过计算对应于不同层上的重复图案（14,24）的图像之间的相位差来执行对准测量。

公开(公告)号：US06429131B2

公开(公告)日：2002-08-06

申请号：US09271684

申请日：1999-03-18

申请人： Chenting Lin ,  Robert van den Berg ,  Sumit Pandey

发明人： Chenting Lin ,  Robert van den Berg ,  Sumit Pandey

IPC分类号： H01L21302

CPC分类号： B24B37/04 ,  B24B57/02

摘要： Improved CMP uniformity is achieved by providing improved control of the slurry distribution. Improved slurry distribution is achieved by, for example, the use of a slurry dispenser that dispenses slurry from a plurality of dispensing points. Providing a squeeze bar between the slurry dispenser and wafer to redistribute the slurry also improves the slurry distribution.

摘要翻译： 通过提供浆料分布的改进控制来实现改进的CMP均匀性。 通过例如使用从多个分配点分配浆料的浆料分配器来实现改进的浆料分布。 在浆料分配器和晶片之间提供挤压棒以重新分配浆料也改善了浆料分布。

公开(公告)号：US5580509A

公开(公告)日：1996-12-03

申请号：US345586

申请日：1994-11-28

申请人： Robert van den Berg ,  Hans-Juergen Bauer

发明人： Robert van den Berg ,  Hans-Juergen Bauer

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/046 ,  H01L31/048 ,  B29C63/02 ,  B29C65/02 ,  B32B31/04

CPC分类号： H01L31/046 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50

摘要： In a method for electrically contacting thin-film solar modules interconnected in integrated fashion, a number of solar cells forming a module are created by structuring a layer on a substrate to produce strip-shaped, side-by-side solar cells, and electrically conductive contact strips are laid over the electrode layers of the two outermost, individual solar cells. The conductive strips are held in place by a lamination using hot-melt adhesive foil at elevated pressure and temperature, in the same step wherein a backing is laminated with the solar module. If necessary, the contact strips can be attached by an electrically conductive paste or utilizing an ultrasonic welding process.

摘要翻译： 在以电子方式接触以一体化方式相互连接的薄膜太阳能模块的方法中，通过在基板上构造一层以产生带状的并排太阳能电池并形成导电的多个太阳能电池来形成模块，形成模块 接触条被放置在两个最外面的单个太阳能电池的电极层上。 在升高的压力和温度下，通过使用热熔粘合箔的层压将导电条保持就位，其中背衬与太阳能模块层压在同一步骤中。 如果需要，接触片可以通过导电糊或利用超声波焊接工艺附着。

公开(公告)号：US06685796B1

公开(公告)日：2004-02-03

申请号：US09639986

申请日：2000-08-16

申请人： Chenting Lin ,  Robert van den Berg ,  Sumit Pandey

发明人： Chenting Lin ,  Robert van den Berg ,  Sumit Pandey

IPC分类号： H01L21306

CPC分类号： B24B37/04 ,  B24B57/02

摘要： Improved CMP uniformity is achieved by providing improved control of the slurry distribution. Improved slurry distribution is achieved by, for example, the use of a slurry dispenser that dispenses slurry from a plurality of dispensing points. Providing a squeeze bar between the slurry dispenser and wafer to redistribute the slurry also improves the slurry distribution.

摘要翻译： 通过提供浆料分布的改进控制来实现改进的CMP均匀性。 通过例如使用从多个分配点分配浆料的浆料分配器来实现改进的浆料分布。 在浆料分配器和晶片之间提供挤压棒以重新分配浆料也改善了浆料分布。

公开(公告)号：US5512107A

公开(公告)日：1996-04-30

申请号：US302896

申请日：1994-09-19

申请人： Robert van den Berg

发明人： Robert van den Berg

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/046 ,  H01L31/048 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1884 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/046 ,  H01L31/048 ,  Y02E10/50

摘要： A thin-film solar module includes a transparent substrate, at least one active semiconductor layer (3) made of a I-III-VI2 semiconductor (chalcopyrite) having a diode structure, the semiconductor layer being patterned into strip-shaped individual solar cells, electrode patterns made of aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al) having a hexagonal crystal structure as front and rear contacts and for integrated interconnection of the solar module, and an epoxy coating layer as a rear covering.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE93 / 00217 Sec。 371日期1994年9月19日 102（e）1994年9月19日PCT 1993年3月9日PCT公布。 WO93 / 19491 PCT出版物 日本1993年9月30日。薄膜太阳能模块包括透明基板，由具有二极管结构的I-III-VI2半导体（黄铜矿）制成的至少一个有源半导体层（3），半导体层被图案化 带状单个太阳能电池，具有六面晶体结构的铝掺杂氧化锌（ZnO：Al）制成的电极图案，其前后接触并用于太阳能组件的集成互连，以及环氧涂层作为后覆盖层。