公开(公告)号：US20120229814A1

公开(公告)日：2012-09-13

申请号：US13417487

申请日：2012-03-12

申请人： Rolf FREIMANN ,  Bernd BOERBAND ,  Stefan SCHULTE ,  Albrecht HOF ,  Frank RIEPENHAUSEN ,  Matthias MANGER ,  Dietmar NEUGEBAUER ,  Helmut ISSLER ,  Armin BICH

发明人： Rolf FREIMANN ,  Bernd BOERBAND ,  Stefan SCHULTE ,  Albrecht HOF ,  Frank RIEPENHAUSEN ,  Matthias MANGER ,  Dietmar NEUGEBAUER ,  Helmut ISSLER ,  Armin BICH

IPC分类号： G01B11/24 ,  G02B3/02

CPC分类号： G01B11/2441 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02072 ,  G01B2290/15 ,  G01M11/005 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0271 ,  G02B3/02 ,  G02B5/10

摘要： Measuring a shape of an optical surface (14) of a test object (12) includes: providing an interferometric measuring device (16) generating a measurement wave (18); arranging the measuring device (16) and the test object (12) consecutively at different measurement positions relative to each other, such that different regions (20) of the optical surface (14) are illuminated by the measurement wave (18); measuring positional coordinates of the measuring device (16) at the different measurement positions in relation to the test object (12); obtaining surface region measurements by interferometrically measuring the wavefront of the measurement wave (18) after interaction with the respective region (20) of the optical surface (14) using the measuring device (16) in each of the measurement positions; and determining the actual shape of the optical surface (14) by computationally combining the sub-surface measurements based on the measured positional coordinates of the measuring device (16) at each of the measurement positions.

摘要翻译： 测量被测物体（12）的光学表面（14）的形状包括：提供产生测量波（18）的干涉测量装置（16）; 使测量装置（16）和测试对象（12）相对于彼此的不同测量位置连续布置，使得光学表面（14）的不同区域（20）被测量波（18）照亮; 测量所述测量装置（16）在与所述测试对象（12）相关的不同测量位置处的位置坐标; 通过在每个测量位置中使用测量装置（16）在与光学表面（14）的相应区域（20）相互作用之后干涉测量测量波（18）的波前来获得表面区域测量; 以及通过基于在每个测量位置处测量的测量装置（16）的测量的位置坐标计算地组合子表面测量来确定光学表面（14）的实际形状。