公开(公告)号：US20120045723A1

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：US13207519

申请日：2011-08-11

申请人： Ryo NAWATA ,  Katsumi ASADA

发明人： Ryo NAWATA ,  Katsumi ASADA

IPC分类号： G03B27/00 ,  F16M13/00 ,  G03F7/20 ,  F16F7/00

CPC分类号： F16F15/002 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： The vibration isolation device of the present invention includes a first position feedback control system including a reference body system that is fixed to an object to be isolated from vibration and includes a reference body; a first driving unit that drives the object with respect to a base; and a first compensator that calculates a command value to the first driving unit based on position information obtained from the reference body system. Also, the reference body system includes a second position feedback control system including a second driving unit that drives the reference body with respect to the object; a first measuring unit that measures the position of the reference body relative to the object; and a second compensator that calculates a command value to the second driving unit based on position information obtained from the first measuring unit. Here, the second compensator is a PD compensator.

摘要翻译： 本发明的隔振装置包括第一位置反馈控制系统，该第一位置反馈控制系统包括固定在与振动隔离的物体上并包括基准体的基准体系统; 相对于基座驱动物体的第一驱动单元; 以及第一补偿器，其基于从参考主体系统获得的位置信息来计算到第一驱动单元的命令值。 此外，参考体系包括第二位置反馈控制系统，其包括相对于物体驱动参考体的第二驱动单元; 第一测量单元，其测量参考体相对于物体的位置; 以及第二补偿器，其基于从所述第一测量单元获得的位置信息来计算到所述第二驱动单元的指令值。 这里，第二补偿器是PD补偿器。