专利检索 ap:("SEMATECH INC") AND inv:"THOMAS D MANTEI" 第 1 页

1.

发明授权
失效

公开(公告)号：US4483737B1

公开(公告)日：1991-07-30

申请号：US46220083

申请日：1983-01-31

申请人： SEMATECH INC

发明人： THOMAS D MANTEI

IPC分类号： H01L21/302 , H01J37/32 , H05H1/46 , H01L21/306 , B44C1/22 , C03C15/00 , C03C25/06

CPC分类号： H01J37/32623 , H01J37/32688