公开(公告)号：US20150219446A1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：US14614646

申请日：2015-02-05

Applicant: Samsung Electronics Co., Ltd.

Inventor： Choon-Shik LEEM ,  Woo-Jin Jung ,  Ji-Hye Lee ,  Deok-Yong Kim ,  Chul-Gi Song ,  Soo-Bok Chin

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B2210/56 ,  G01N2021/213 ,  G03F7/70625 ,  H01L22/12

Abstract: Methods and apparatuses for measuring parameters of integrated circuit devices may be provided. The methods may include performing detecting operations on samples to obtain a set of data. Each detecting operation may include irradiating a light beam to the samples using a light irradiation part and detecting reflected light from the samples using a light detector. The samples may have values of a parameter different from one another. The method may also include obtaining a principal component based on the set of data and obtaining a regression model for the parameter using the principal component and values of the parameter of the samples.

Abstract translation: 可以提供用于测量集成电路装置的参数的方法和装置。 这些方法可以包括对样本执行检测操作以获得一组数据。 每个检测操作可以包括使用光照射部分将光束照射到样品上，并使用光检测器检测来自样品的反射光。 样本可以具有彼此不同的参数的值。 该方法还可以包括基于该组数据获得主成分，并使用主要分量和样本参数的值获得参数的回归模型。