公开(公告)号：US09424872B1

公开(公告)日：2016-08-23

申请号：US14815855

申请日：2015-07-31

Applicant: Seagate Technology LLC

Inventor： Shuaigang Xiao ,  XiaoMin Yang ,  Kim Y. Lee ,  Yautzong Hsu ,  Hongying Wang

IPC: G11B5/855 ,  G11B5/74 ,  G11B5/84 ,  G03F7/00

CPC classification number: G11B5/746 ,  G03F7/0002 ,  G11B5/855

Abstract: Provided herein is an apparatus including a rectangular array of rectangular protrusions in a first region corresponding to a data region; and a hexagonal array of circular protrusions in a second region corresponding to a servo region, wherein a first global protrusion density for the first region is greater than a second global protrusion density for the second region. Also provided herein is a method including forming a first template; forming a second template; and cross-imprinting the first template and the second template to form a third template corresponding to the foregoing apparatus.

Abstract translation: 本文提供了一种在对应于数据区域的第一区域中包括矩形突起的矩形阵列的装置; 以及在对应于伺服区域的第二区域中的圆形突起的六边形阵列，其中第一区域的第一全局突出密度大于第二区域的第二全局突出密度。 本文还提供了包括形成第一模板的方法; 形成第二个模板; 并交叉印刷第一模板和第二模板以形成与上述装置相对应的第三模板。