公开(公告)号：US20100024563A1

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：US12504006

申请日：2009-07-16

申请人： Sean P. Mulligan ,  Frank Morsink ,  Jun Bae ,  Gerald Spijksma ,  Tom te Boekhorst

发明人： Sean P. Mulligan ,  Frank Morsink ,  Jun Bae ,  Gerald Spijksma ,  Tom te Boekhorst

IPC分类号： G01L13/02

CPC分类号： G01L19/0627 ,  G01L19/141 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/73265

摘要： A pressure sensor module is disclosed. The pressure sensor module comprises a sensing element (1) mounted on a front side (3) of a support member (5). The support member (5) comprises a hole (7) through the support member (5) from the front side (3) to a back side (9). The sensing element (1) covers the hole (7) at the front side (3). A back side barrier (6) provided at the back side (9) of the support member (5) surrounds a surface of the back side (9) of the support member (5) and forms an enclosed area (8), wherein the enclosed area (8) and the hole (7) form a pressure channel (10). A back side protective member (2) fills the hole (7) and at least partially the enclosed area (8). The support member (5), back side barrier (6) and back side protective member (2) form a module that can be placed during production of the pressure sensor in a housing of the pressure sensor.

摘要翻译： 公开了压力传感器模块。 压力传感器模块包括安装在支撑构件（5）的前侧（3）上的感测元件（1）。 支撑构件（5）包括从前侧（3）到后侧（9）穿过支撑构件（5）的孔（7）。 感测元件（1）覆盖前侧（3）处的孔（7）。 设置在支撑构件（5）的后侧（9）的背侧屏障（6）围绕支撑构件（5）的背面（9）的表面并形成封闭区域（8），其中， 封闭区域（8）和孔（7）形成压力通道（10）。 背面保护构件（2）填充孔（7）并且至少部分地填充封闭区域（8）。 支撑构件（5），后侧挡板（6）和后侧保护构件（2）形成在压力传感器的壳体内可以将压力传感器制造期间放置的模块。

公开(公告)号：US07992441B2

公开(公告)日：2011-08-09

申请号：US12504006

申请日：2009-07-16

申请人： Sean P. Mulligan ,  Frank Morsink ,  Jun Bae ,  Gerald Spijksma ,  Tom te Boekhorst

发明人： Sean P. Mulligan ,  Frank Morsink ,  Jun Bae ,  Gerald Spijksma ,  Tom te Boekhorst

IPC分类号： G01L7/00

CPC分类号： G01L19/0627 ,  G01L19/141 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/73265

摘要： A pressure sensor module is disclosed. The pressure sensor module comprises a sensing element (1) mounted on a front side (3) of a support member (5). The support member (5) comprises a hole (7) through the support member (5) from the front side (3) to a back side (9). The sensing element (1) covers the hole (7) at the front side (3). A back side barrier (6) provided at the back side (9) of the support member (5) surrounds a surface of the back side (9) of the support member (5) and forms an enclosed area (8), wherein the enclosed area (8) and the hole (7) form a pressure channel (10). A back side protective member (2) fills the hole (7) and at least partially the enclosed area (8). The support member (5), back side barrier (6) and back side protective member (2) form a module that can be placed during production of the pressure sensor in a housing of the pressure sensor.

摘要翻译： 公开了压力传感器模块。 压力传感器模块包括安装在支撑构件（5）的前侧（3）上的感测元件（1）。 支撑构件（5）包括从前侧（3）到后侧（9）穿过支撑构件（5）的孔（7）。 感测元件（1）覆盖前侧（3）处的孔（7）。 设置在支撑构件（5）的后侧（9）的背侧屏障（6）围绕支撑构件（5）的背面（9）的表面并形成封闭区域（8），其中， 封闭区域（8）和孔（7）形成压力通道（10）。 背面保护构件（2）填充孔（7）并且至少部分地填充封闭区域（8）。 支撑构件（5），后侧挡板（6）和后侧保护构件（2）形成在压力传感器的壳体内可以将压力传感器制造期间放置的模块。