公开(公告)号：US6001268A

公开(公告)日：1999-12-14

申请号：US869931

申请日：1997-06-05

申请人： Son Van Nguyen ,  Diana Perez ,  Andrew Chiuyan Ting ,  Cherngye Hwang ,  Martin Straub ,  Gerd Dworschak

发明人： Son Van Nguyen ,  Diana Perez ,  Andrew Chiuyan Ting ,  Cherngye Hwang ,  Martin Straub ,  Gerd Dworschak

IPC分类号： C04B41/53 ,  G11B5/10 ,  G11B5/31 ,  G11B5/60 ,  G11B21/21 ,  C03C15/02

CPC分类号： B82Y15/00 ,  C04B41/5346 ,  G11B21/21 ,  G11B5/10 ,  G11B5/6005 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/6011

摘要： The invention is a method of patterning the air bearing surface of a ceramic slider preferably including alumina and titanium carbide. The method includes the steps of forming an etch pattern by depositing and developing a photoresist on the ceramic slider, and reactive ion etching the slider air bearing surface using an etchant gas of argon, sulfur hexafluoride, and methyltrifluoride flowing at a rate which provides a smooth patterned surface on the slider air bearing surface.

摘要翻译： 本发明是一种图案化陶瓷滑块的空气轴承表面的方法，优选地包括氧化铝和碳化钛。 该方法包括以下步骤：通过在陶瓷滑块上沉积和显影光致抗蚀剂来形成蚀刻图案，以及使用氩气，六氟化硫和三氟甲基磷酸盐的蚀刻剂气体，以提供平滑的速率流动的反应离子蚀刻滑块空气轴承表面 滑块空气轴承表面上的图案化表面。