公开(公告)号：US07630858B1

公开(公告)日：2009-12-08

申请号：US11904858

申请日：2007-09-28

申请人： Susan Weiher-Telford ,  Stefan Soens

发明人： Susan Weiher-Telford ,  Stefan Soens

IPC分类号： G06F17/18 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31477 ,  G05B2219/32221 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  Y02P90/22

摘要： A plurality of tool identifiers, a plurality of information types, and a plurality of report types are displayed in a first user interface of a tool health reporting system. A user selection of a distinct report type from the plurality of report types, a distinct information type from the plurality of information types, and a distinct tool identifier from the plurality of tool identifiers are received. A report is displayed in a second user interface of the tool health reporting system, the report including data associated with the distinct information type, the distinct report type and the distinct tool identifier, wherein the report correlates equipment based measurement data to product level measurement data.

摘要翻译： 在工具健康报告系统的第一用户界面中显示多个工具标识符，多个信息类型和多个报告类型。 接收来自多个报告类型的不同报告类型的用户选择，来自多个信息类型的不同信息类型以及来自多个工具标识符的不同工具标识符。 报告显示在工具健康报告系统的第二用户界面中，报告包括与不同信息类型相关联的数据，不同报告类型和不同的工具标识符，其中该报告将基于设备的测量数据与产品级测量数据相关联 。

公开(公告)号：US20070219738A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11375908

申请日：2006-03-15

申请人： Susan Weiher ,  Stefan Soens

发明人： Susan Weiher ,  Stefan Soens

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F17/40

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31477 ,  G05B2219/32221 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  Y02P90/22

摘要： A computer-implemented method, system and computer program device are provided for monitoring production of semiconductor products to detect potential defect excursions. Equipment based data is collected reflecting equipment performance for a plurality of semiconductor manufacturing tools used for processing a plurality of semiconductor products. Also, product level data is collected reflecting product quality for the plurality of semiconductor products processed on the plurality of manufacturing tools. At least a portion of the product level data and at least a portion of the equipment based data are then correlated. At least one report is generated of the correlation of data.

摘要翻译： 提供了一种计算机实现的方法，系统和计算机程序设备，用于监控半导体产品的生产以检测潜在的缺陷偏移。 收集基于设备的数据反映用于处理多个半导体产品的多个半导体制造工具的设备性能。 此外，收集产品级数据，反映在多个制造工具上处理的多个半导体产品的产品质量。 然后将产品级数据和至少一部分基于设备的数据的至少一部分相关联。 生成数据的相关性至少有一个报告。

公开(公告)号：US07454312B2

公开(公告)日：2008-11-18

申请号：US11375908

申请日：2006-03-15

申请人： Susan Weiher ,  Stefan Soens

发明人： Susan Weiher ,  Stefan Soens

IPC分类号： G06F15/00 ,  G06F17/18 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31477 ,  G05B2219/32221 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67288 ,  Y02P90/22

摘要： A computer-implemented method, system and computer program device are provided for monitoring production of semiconductor products to detect potential defect excursions. Equipment based data is collected reflecting equipment performance for a plurality of semiconductor manufacturing tools used for processing a plurality of semiconductor products. Also, product level data is collected reflecting product quality for the plurality of semiconductor products processed on the plurality of manufacturing tools. At least a portion of the product level data and at least a portion of the equipment based data are then correlated. At least one report is generated of the correlation of data.

摘要翻译： 提供了一种计算机实现的方法，系统和计算机程序设备，用于监控半导体产品的生产以检测潜在的缺陷偏移。 收集基于设备的数据反映用于处理多个半导体产品的多个半导体制造工具的设备性能。 此外，收集产品级数据，反映在多个制造工具上处理的多个半导体产品的产品质量。 然后将产品级数据和至少一部分基于设备的数据的至少一部分相关联。 生成数据的相关性至少有一个报告。