公开(公告)号：US20080277313A1

公开(公告)日：2008-11-13

申请号：US11874184

申请日：2007-10-17

申请人： Ta-Yung Sung ,  Kuo-Hsin Chen ,  Chi-Tsai Chiang

发明人： Ta-Yung Sung ,  Kuo-Hsin Chen ,  Chi-Tsai Chiang

IPC分类号： H01L21/67 ,  B65D85/86

CPC分类号： H01L21/67313

摘要： A wafer supporter includes a base and a plurality of rods vertically fixed on the base. Each rod includes holders to support a wafer. Each of the holders has a downwardly slanted top surface relative to the corresponding rod for a pre-determined angle so that the wafer lies on the top surface on its rim.

摘要翻译： 晶片支架包括基座和垂直固定在基座上的多个杆。 每个杆包括支撑晶片的支架。 每个保持器相对于相应的杆具有向下倾斜的顶表面，用于预定角度，使得晶片位于其边缘上的顶表面上。