公开(公告)号：US5254212A

公开(公告)日：1993-10-19

申请号：US855048

申请日：1992-05-06

申请人： Takahiro Someji ,  Junichi Watanabe ,  Yoshiyuki Watanabe ,  Shigeru Jyoumura ,  Katsuhiko Kojyou ,  Kazuo Kazama ,  Kiyomi Tanaka

发明人： Takahiro Someji ,  Junichi Watanabe ,  Yoshiyuki Watanabe ,  Shigeru Jyoumura ,  Katsuhiko Kojyou ,  Kazuo Kazama ,  Kiyomi Tanaka

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/293 ,  B44C1/22 ,  C23F1/00

CPC分类号： H01L41/293 ,  H01L41/0472 ,  Y10T29/42

摘要： A method of making a layered electrostrictive displacement device by forming sheets of an electrostrictive material alternately with internal electrodes. The laminate formed therefrom has two opposite surfaces at which the ends of the internal electrodes are exposed and two other opposite surfaces at which alternate layers of the internal electrodes are exposed. Temporary external electrodes are formed on the latter mentioned opposite surfaces. Alternate layers of the exposed portions of the internal electrodes are plated at one surface of the laminate with a metal while using a temporary external electrode as a cathode. The exposed portions of the other internal electrodes are plated with metal using another temporary external electrode as a cathode. The non-plated portions of the plated surface are selectively removed to form recesses, and an insulating film is formed on the recesses. Portions of insulating film and the metal deposited are removed to expose the internal electrodes, and external electrodes for connection to the exposed internal electrodes are formed.

摘要翻译： PCT No.PCT / JP91 / 01196 Sec。 371日期：1992年5月6日 102（e）日期1992年5月6日PCT 1991年9月9日PCT公布。 出版物WO92 / 05593 日期：1992年4月2日。一种通过与内部电极交替地形成电致伸缩材料片来制造分层电致伸缩位移装置的方法。 由此形成的层压体具有两个相对的表面，内部电极的端部暴露在两个相对的表面和两个内部电极的交替层被暴露的相反的两个表面。 临时外部电极形成在后面提到的相对表面上。 使用临时外部电极作为阴极，将内部电极的露出部分的交替层用金属镀在层叠体的一个表面。 其他内部电极的露出部分使用另一临时外部电极作为阴极镀金属。 选择性地去除电镀表面的非电镀部分以形成凹部，并且在凹部上形成绝缘膜。 去除绝缘膜和沉积的金属的部分以暴露内部电极，并且形成用于连接到暴露的内部电极的外部电极。