公开(公告)号：US20130000757A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13364789

申请日：2012-02-02

申请人： Takehiko YOSHIMURA ,  Tatsuhiko NAGATA ,  Masaru SEKI ,  Yoshinori CHO

发明人： Takehiko YOSHIMURA ,  Tatsuhiko NAGATA ,  Masaru SEKI ,  Yoshinori CHO

IPC分类号： F03B11/02

CPC分类号： H01L21/67772 ,  Y10S414/135 ,  Y10T137/8593

摘要： A load part has a nozzle unit having outlets for generating outflow and/or inflow of gas used for replacing the atmosphere of a wafer storage container, in a direction approximately parallel to spaces between adjacent wafers being stored, are a driving unit for extending the nozzle unit to a door opening portion.

摘要翻译： 负载部具有喷嘴单元，该喷嘴单元具有用于产生用于更换晶片储存容器的气体的流出和/或流入的出口，所述气体在大致平行于存储的相邻晶片之间的空间的方向上是用于使喷嘴延伸的驱动单元 单元到门开口部分。