公开(公告)号：US06524869B1

公开(公告)日：2003-02-25

申请号：US09780178

申请日：2001-02-09

申请人： Michael J. Satterfield ,  Laura A. Pressley ,  Terri A. Couteau ,  Daniel E. Sutton ,  Bryon K. Hance ,  David Hendrix

发明人： Michael J. Satterfield ,  Laura A. Pressley ,  Terri A. Couteau ,  Daniel E. Sutton ,  Bryon K. Hance ,  David Hendrix

IPC分类号： H01L2166

CPC分类号： H01L22/12

摘要： Various methods and apparatus are provided for testing an ion implantation tool. In one aspect, a method of testing an ion implanter is provided that includes forming a mask with a preselected pattern on a substrate. An ion implant is performed on the mask with the ion implanter. Following the ion implant, a scan of the mask is performed to identify any defects thereon. Defects appearing on the mask following the implant are indicative of latent mechanisms at work within the implanter. Ion implanter induced defects may be economically analyzed.

摘要翻译： 提供了用于测试离子注入工具的各种方法和装置。 一方面，提供了一种测试离子注入机的方法，其包括在衬底上形成具有预选图案的掩模。 用离子注入机在掩模上进行离子注入。 在离子注入之后，执行掩模的扫描以识别其上的任何缺陷。 在植入物之后出现在掩模上的缺陷表示在注入机内工作的潜在机制。 离子注入机诱导的缺陷可能经济分析。

公开(公告)号：US06566886B1

公开(公告)日：2003-05-20

申请号：US09819785

申请日：2001-03-28

申请人： Terri A. Couteau ,  Michael J. Satterfield ,  Laura A. Pressley

发明人： Terri A. Couteau ,  Michael J. Satterfield ,  Laura A. Pressley

IPC分类号： G01R3108

CPC分类号： G01N29/28 ,  G01N29/12 ,  G01N29/348 ,  G01N2291/02433 ,  G01N2291/2698

摘要： Various methods of inspecting circuit structures are provided. In one aspect, a method of detecting structural defects in a circuit structure is provided. A natural frequency of the circuit structure is determined and the circuit structure is immersed in a liquid. A first plurality of sonic pulses is sent through the liquid. The first plurality of sonic pulses have a first frequency range selected to produce a plurality of collapsing bubbles proximate the circuit structure. The collapsing bubbles produce a second plurality of sonic pulses that have a second frequency range near or including the natural frequency of the circuit structure whereby the second plurality of sonic pulses causes the circuit structure to resonate. Thereafter, the circuit structure is inspected for structural damage. Early identification of crystalline defects is facilitated.

摘要翻译： 提供了检查电路结构的各种方法。 一方面，提供一种检测电路结构中的结构缺陷的方法。 确定电路结构的固有频率，并将电路结构浸入液体中。 通过液体发送第一组多个声波脉冲。 第一组多个声波脉冲具有选择的第一频率范围以在电路结构附近产生多个塌陷气泡。 塌陷气泡产生第二多个声波脉冲，其具有靠近或包括电路结构的固有频率的第二频率范围，由此第二多个声波脉冲导致电路结构谐振。 此后，检查电路结构是否有结构损坏。 有利于早期鉴定晶体缺陷。