公开(公告)号：US20060209313A1

公开(公告)日：2006-09-21

申请号：US11084866

申请日：2005-03-21

申请人： Theodorus Van Den Akker ,  Martinus Hendricus Hoeks ,  Pieter De Jager ,  Lambertus Kessels ,  Marco Martinus Van Hassel ,  Frank Morselt

发明人： Theodorus Van Den Akker ,  Martinus Hendricus Hoeks ,  Pieter De Jager ,  Lambertus Kessels ,  Marco Martinus Van Hassel ,  Frank Morselt

IPC分类号： G06F3/12

CPC分类号： G03F7/70291 ,  G03F7/70508

摘要： A method and device for programming an array of individually controllable elements configured to impart a beam with a pattern. For example, the method can be suitable for use in a lithographic apparatus. The method comprises generating first data representing a first pattern, generating second data representing a second pattern, writing the first data to a first buffer, and reading the first data from the first buffer to program the array of individually controllable elements to display the first pattern, while writing the second data to a second buffer in parallel.

摘要翻译： 用于对被配置为赋予光束的图案的独立可控元件的阵列的编程的方法和装置。 例如，该方法可适用于光刻设备。 该方法包括产生表示第一图案的第一数据，产生表示第二图案的第二数据，将第一数据写入第一缓冲器，以及从第一缓冲器读取第一数据以对独立可控元件阵列进行编程以显示第一图案 同时将第二数据并行地写入第二缓冲器。