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1.发明授权
公开(公告)号：US5894488A
公开(公告)日：1999-04-13
申请号：US793745
申请日：1997-03-12
申请人： Thierry Gaiffe , Herve Lefevre , Nathalie Cerre , Herve Arditty
发明人： Thierry Gaiffe , Herve Lefevre , Nathalie Cerre , Herve Arditty
CPC分类号： H01S3/06795 , H01S3/0675 , H01S3/105
摘要： The invention relates to a broadband light source including an amplifying guide structure (1). The light source includes a device (45) of exciting the guide structure (1). The stimulated guide structure (1) emits light (7, 8) that accepts strong spatial coherence and weak time coherence. The light (7) is transmitted forwards (2) having a spontaneous emission spectrum. The light source also includes a rear mirror (5), reflecting only for a narrower range of wavelengths than the spontaneous emission spectrum and produces emission (E) forwards (2) with an emission spectrum controlled around an average wavelength. The rear mirror is inserted between the excitation means and the guide structure.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR96 / 01090 Sec。 371日期1997年3月12日 102（e）1997年3月12日PCT PCT 1996年7月12日PCT公布。 公开号WO97 / 03488 日期1997年1月30日本发明涉及一种包括放大引导结构（1）的宽带光源。 光源包括激励引导结构（1）的装置（45）。 刺激的引导结构（1）发射光（7,8），其接受强的空间相干性和弱的时间相干性。 光（7）向前（2）发射，具有自发发射光谱。 光源还包括后反射镜（5），其仅反射比自发发射光谱更窄的波长范围，并且以围绕平均波长控制的发射光谱产生向前（E）的发射（E）。 后视镜插入在激励装置和引导结构之间。
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公开(公告)号：US5340981A
公开(公告)日：1994-08-23
申请号：US835980
申请日：1992-04-27
CPC分类号： G01Q60/22 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G03F7/70383 , B82Y10/00 , Y10S977/862
摘要： Reflection microscopy process and apparatus for examining a surface which enable the injection of highly coherent electromagnetic wave, such as produced by a laser, in a waveguide whose outlet surface is flat and transparent, at least in the zone where propagation mode of the waveguide is emitted. The outlet surface is positioned above the surface to be examined at a chosen distance so that the coupling coefficient between the particular mode of propagation of waveguide and the propagation mode of the electric field of the wave reflected by the surface and guided in return by the waveguide, depends in an essentially exponential way on the distance or can be compared, at least locally, with an exponential variation function, or is rapidly decreasing, depending on the distance, and the surface is scanned with the waveguide. In particular, the field of the invention concerns scanning microscopy, by purely optical elements and with nanometric resolution. The invention can also be used for optical control of the distance between a given surface and an instrument to be moved above this surface, and, in particular, any instrument of the type used for microlithography of integrated circuits.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR90 / 00632 Sec。 371日期：1992年4月27日 102（e）日期1992年4月27日PCT提交1990年8月27日PCT公布。 公开号WO91 / 03757 日期1991年3月21日。用于检查表面的反射显微镜方法和装置，其使得能够在出口表面是平坦和透明的波导中注射高激光等高度相干的电磁波，至少在 发射波导的传播模式。 出口表面以选定的距离定位在要检查的表面上方，使得波导的特定传播模式与由表面反射并由波导反射引导的波的电场的传播模式之间的耦合系数 取决于距离上的基本指数方式，或者可以至少局部地用指数变化函数进行比较，或者根据距离而快速地减小，并且用波导扫描表面。 特别地，本发明的领域涉及扫描显微镜，纯粹的光学元件和纳米分辨率。 本发明还可以用于光学控制给定表面和待移动到该表面之上的仪器之间的距离，特别是用于集成电路的微光刻的类型的任何仪器。
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