公开(公告)号：US20080233403A1

公开(公告)日：2008-09-25

申请号：US12026806

申请日：2008-02-06

申请人： Timothy Dyer ,  Ho Ouk ,  Louis Everett Jensen

发明人： Timothy Dyer ,  Ho Ouk ,  Louis Everett Jensen

IPC分类号： B32B3/00 ,  B28B11/08 ,  B29C59/14 ,  B32B18/00

CPC分类号： C04B41/53 ,  B28B11/0818 ,  C04B35/111 ,  C04B35/486 ,  C04B41/009 ,  C04B41/5031 ,  C04B41/5042 ,  C04B41/52 ,  C04B41/87 ,  C04B41/90 ,  C04B41/91 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/612 ,  C23C4/02 ,  C23C4/08 ,  C23C4/18 ,  C23C16/4404 ,  C23C28/322 ,  C23C28/3455 ,  H01J37/32431 ,  Y10T428/31 ,  C04B41/4578 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/522 ,  C04B41/4527 ,  C04B41/5155 ,  C04B41/4529 ,  C04B41/5133 ,  C04B35/10 ,  C04B35/48

摘要： A method of improving the adhesion of processing materials on a ceramic component is described. The method includes the steps of forming a green ceramic component and texturing the surface of the green ceramic component. The as-textured component is then fired to harden the ceramic material. In an alternative embodiment of the method, a coating is applied to the surface of the as-fired ceramic component to provide a secondary adhesion layer. A ceramic component for use in an etching or deposition reactor chamber is also described. The ceramic component includes a substrate formed of a ceramic material and has a textured surface formed thereon such that the textured surface has a roughness of about 100 to 1000 μin Ra.

摘要翻译： 描述了一种提高加工材料在陶瓷部件上的附着力的方法。 该方法包括形成生陶瓷组分并使生陶瓷组分的表面纹理化的步骤。 然后烧结该织构的组分以使陶瓷材料硬化。 在该方法的替代实施例中，将涂层施加到烧制陶瓷部件的表面以提供第二粘合层。 还描述了用于蚀刻或沉积反应器室的陶瓷部件。 陶瓷部件包括由陶瓷材料形成并具有形成在其上的织纹表面的基底，使得纹理化表面的粗糙度为约100至1000μmol。

公开(公告)号：US20110220285A1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：US13025627

申请日：2011-02-11

申请人： Cheng-Tsin Lee ,  Ho Ouk ,  Gary D. Harland ,  Edward Tomasek

发明人： Cheng-Tsin Lee ,  Ho Ouk ,  Gary D. Harland ,  Edward Tomasek

IPC分类号： B05D7/00 ,  C23C16/44 ,  C23F1/08 ,  H01L21/00 ,  B05D1/02 ,  B05D1/28 ,  B05D3/02 ,  C23C4/08 ,  C23C4/10 ,  C23C26/00

CPC分类号： C04B41/52 ,  C04B41/009 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/87 ,  C04B41/89 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/4581 ,  C04B41/5027 ,  C04B41/4527 ,  C04B41/5031 ,  C04B41/5042 ,  C04B41/522 ,  C04B41/5045 ,  C04B41/5155 ,  C04B41/4572 ,  C04B41/5029 ,  C04B35/00 ,  C04B35/10 ,  C04B35/48

摘要： Embodiments of the present invention provide methods for forming a hardened and roughened ceramic component. Specific steps include forming a sintered ceramic component, texturing the surface of the sintered ceramic component, and firing the component to harden it. The resulting ceramic component may have a textured surface, and in a specific embodiment, the textured surface has a roughness of about 100 to about 2000 μin Ra.

摘要翻译： 本发明的实施例提供了形成硬化和粗糙化陶瓷部件的方法。 具体步骤包括形成烧结陶瓷组分，对烧结的陶瓷组分的表面进行纹理化，并烧制组分以使其硬化。 所得到的陶瓷部件可以具有纹理表面，并且在具体实施例中，纹理表面具有约100至约2000μinRa的粗糙度。