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    Image evaluation method and microscope
    2.
    发明授权
    Image evaluation method and microscope 失效
    图像评估方法和显微镜

    公开(公告)号：US07236651B2

    公开(公告)日：2007-06-26

    申请号：US10219765

    申请日：2002-08-16

    申请人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    发明人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    IPC分类号： G06K9/32 ,  G21K7/00 ,  G09G5/02

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2823

    摘要： Image evaluation method capable of objectively evaluating the image resolution of a microscope image. An image resolution method is characterized in that resolution in partial regions of an image is obtained over an entire area of the image or a portion of the image, averaging is performed over the entire area of the image or the portion of the image, and the averaged value is established as the resolution evaluation value of the entire area of the image or the portion of the image. This method eliminates the subjective impressions of the evaluator from evaluation of microscope image resolution, so image resolution evaluation values of high accuracy and good repeatability can be obtained.

    摘要翻译： 能够客观评价显微镜图像的图像分辨率的图像评价方法。 图像分辨方法的特征在于，在图像的整个区域或图像的一部分上获得图像的部分区域中的分辨率，在图像的整个区域或图像的整个区域上进行平均化， 建立平均值作为图像的整个区域或图像的部分的分辨率评估值。 该方法消除了评估者对显微镜图像分辨率评估的主观印象，因此可以获得高精度和良好重复性的图像分辨率评估值。

    Image evaluation method and microscope
    3.
    发明授权
    Image evaluation method and microscope 失效
    图像评估方法和显微镜

    公开(公告)号：US07340111B2

    公开(公告)日：2008-03-04

    申请号：US11124252

    申请日：2005-05-09

    申请人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    发明人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    IPC分类号： G06K9/32

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2823

    摘要： Image evaluation method capable of objectively evaluating the image resolution of a microscope image. An image resolution method is characterized in that resolution in partial regions of an image is obtained over an entire area of the image or a portion of the image, averaging is performed over the entire area of the image or the portion of the image, and the averaged value is established as the resolution evaluation value of the entire area of the image or the portion of the image. This method eliminates the subjective impressions of the evaluator from evaluation of microscope image resolution, so image resolution evaluation values of high accuracy and good repeatability can be obtained.

    摘要翻译： 能够客观评价显微镜图像的图像分辨率的图像评价方法。 图像分辨方法的特征在于，在图像的整个区域或图像的一部分上获得图像的部分区域中的分辨率，在图像的整个区域或图像的整个区域上进行平均化， 建立平均值作为图像的整个区域或图像的部分的分辨率评估值。 该方法消除了评估者对显微镜图像分辨率评估的主观印象，因此可以获得高精度和良好重复性的图像分辨率评估值。

    Image evaluation method and microscope
    4.
    发明授权
    Image evaluation method and microscope 失效
    图像评估方法和显微镜

    公开(公告)号：US07805023B2

    公开(公告)日：2010-09-28

    申请号：US11802262

    申请日：2007-05-21

    申请人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    发明人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    IPC分类号： G06K9/32 ,  G21K7/00

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2823

    摘要： Image evaluation method capable of objectively evaluating the image resolution of a microscope image. An image resolution method is characterized in that resolution in partial regions of an image is obtained over an entire area of the image or a portion of the image, averaging is performed over the entire area of the image or the portion of the image, and the averaged value is established as the resolution evaluation value of the entire area of the image or the portion of the image. This method eliminates the subjective impressions of the evaluator from evaluation of microscope image resolution, so image resolution evaluation values of high accuracy and good repeatability can be obtained.

    摘要翻译： 能够客观评价显微镜图像的图像分辨率的图像评价方法。 图像分辨方法的特征在于，在图像的整个区域或图像的一部分上获得图像的部分区域中的分辨率，在图像的整个区域或图像的整个区域上进行平均化， 建立平均值作为图像的整个区域或图像的部分的分辨率评估值。 该方法消除了评估者对显微镜图像分辨率评估的主观印象，因此可以获得高精度和良好重复性的图像分辨率评估值。

    Image evaluation method and microscope
    5.
    发明申请
    Image evaluation method and microscope 失效
    图像评估方法和显微镜

    公开(公告)号：US20050199811A1

    公开(公告)日：2005-09-15

    申请号：US11124252

    申请日：2005-05-09

    申请人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    发明人： Tohru Ishitani ,  Mitsugu Sato ,  Hideo Todokoro ,  Tadashi Otaka ,  Takashi Iizumi ,  Atsushi Takane

    IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G21K7/00

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2823

    摘要： Image evaluation method capable of objectively evaluating the image resolution of a microscope image. An image resolution method is characterized in that resolution in partial regions of an image is obtained over an entire area of the image or a portion of the image, averaging is performed over the entire area of the image or the portion of the image, and the averaged value is established as the resolution evaluation value of the entire area of the image or the portion of the image. This method eliminates the subjective impressions of the evaluator from evaluation of microscope image resolution, so image resolution evaluation values of high accuracy and good repeatability can be obtained.

    摘要翻译： 能够客观评价显微镜图像的图像分辨率的图像评价方法。 图像分辨方法的特征在于，在图像的整个区域或图像的一部分上获得图像的部分区域中的分辨率，在图像的整个区域或图像的整个区域上进行平均化， 建立平均值作为图像的整个区域或图像的部分的分辨率评估值。 该方法消除了评估者对显微镜图像分辨率评估的主观印象，因此可以获得高精度和良好重复性的图像分辨率评估值。

    Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus
    6.
    发明授权
    Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus 有权
    形成样品图像和带电粒子束装置的方法

    公开(公告)号：US07800059B2

    公开(公告)日：2010-09-21

    申请号：US12073359

    申请日：2008-03-04

    申请人： Mitsugu Sato ,  Atsushi Takane ,  Takashi Iizumi ,  Tadashi Otaka ,  Hideo Todokoro ,  Satoru Yamaguchi ,  Kazutaka Nimura

    发明人： Mitsugu Sato ,  Atsushi Takane ,  Takashi Iizumi ,  Tadashi Otaka ,  Hideo Todokoro ,  Satoru Yamaguchi ,  Kazutaka Nimura

    IPC分类号： G01N23/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  G21K7/00

    CPC分类号： G01N23/22 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28

    摘要： An object of the present invention is to provide a sample image forming method and a charged particle beam apparatus which are suitable for realizing suppressing of the view area displacement with high accuracy while the influence of charging due to irradiation of the charged particle beam is being suppressed.In order to attain the above object, the present invention provide a method of forming a sample image by scanning a charged particle beam on a sample and forming an image based on secondary signals emitted from the sample, the method comprising the steps of forming a plurality of composite images by superposing a plurality of images obtained by a plurality of scanning times; and forming a further composite image by correcting positional displacements among the plurality of composite images and superposing the plurality of composite images, and a charged particle beam apparatus for realizing the above method.

    摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在抑制由于带电粒子束的照射引起的充电的影响被抑制的情况下，能够高精度地实现视区域位移的抑制的样本图像形成方法和带电粒子束装置 。 为了实现上述目的，本发明提供一种通过在样品上扫描带电粒子束并基于从样品发射的二次信号形成图像来形成样品图像的方法，该方法包括以下步骤：形成多个 通过叠加通过多个扫描时间获得的多个图像的合成图像; 以及通过校正多个合成图像之间的位置偏移并叠加多个合成图像来形成另一个合成图像，以及用于实现上述方法的带电粒子束装置。

    Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus
    8.
    发明申请
    Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus 失效
    形成样品图像和带电粒子束装置的方法

    公开(公告)号：US20070029478A1

    公开(公告)日：2007-02-08

    申请号：US11501229

    申请日：2006-08-09

    申请人： Mitsugu Sato ,  Atsushi Takane ,  Takashi Iizumi ,  Tadashi Otaka ,  Hideo Todokoro ,  Satoru Yamaguchi ,  Kazutaka Nimura

    发明人： Mitsugu Sato ,  Atsushi Takane ,  Takashi Iizumi ,  Tadashi Otaka ,  Hideo Todokoro ,  Satoru Yamaguchi ,  Kazutaka Nimura

    IPC分类号： G21K7/00

    CPC分类号： H01J37/28 ,  G06T5/50 ,  G06T7/30 ,  G06T2207/10056 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226

    摘要： An object of the present invention is to provide a sample image forming method and a charged particle beam apparatus which are suitable for realizing suppressing of the view area displacement with high accuracy while the influence of charging due to irradiation of the charged particle beam is being suppressed. In order to attain the above object, the present invention provide a method of forming a sample image by scanning a charged particle beam on a sample and forming an image based on secondary signals emitted from the sample, the method comprising the steps of forming a plurality of composite images by superposing a plurality of images obtained by a plurality of scanning times; and forming a further composite image by correcting positional displacements among the plurality of composite images and superposing the plurality of composite images, and a charged particle beam apparatus for realizing the above method.

    摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在抑制由于带电粒子束的照射引起的充电的影响被抑制的情况下，能够高精度地实现视区域位移的抑制的样本图像形成方法和带电粒子束装置 。 为了实现上述目的，本发明提供一种通过在样品上扫描带电粒子束并基于从样品发射的二次信号形成图像来形成样品图像的方法，该方法包括以下步骤：形成多个 通过叠加通过多个扫描时间获得的多个图像的合成图像; 以及通过校正多个合成图像之间的位置偏移并叠加多个合成图像来形成另一个合成图像，以及用于实现上述方法的带电粒子束装置。