公开(公告)号：US08669184B2

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：US13012506

申请日：2011-01-24

申请人： Tuung Luoh ,  Ling-Wu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

发明人： Tuung Luoh ,  Ling-Wu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/02068 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/32055 ,  H01L21/32139 ,  H01L21/76834

摘要： Described is a method for improving the flatness of a layer deposited on a doped polycrystalline layer, which includes reducing the grain size of the polycrystalline layer to decrease the out-diffusion amount of the dopant from the polycrystalline layer, and/or reducing the amount of the out-diffusing dopant on the surface of the polycrystalline layer.

摘要翻译： 描述了一种用于提高沉积在掺杂多晶层上的层的平坦度的方法，其包括减小多晶层的晶粒尺寸以减少掺杂剂从多晶层的扩散量，和/或减少 多晶层表面上的扩散扩散掺杂剂。

公开(公告)号：US20120190198A1

公开(公告)日：2012-07-26

申请号：US13012506

申请日：2011-01-24

申请人： Tuung Luoh ,  Ling-Wu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

发明人： Tuung Luoh ,  Ling-Wu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/02068 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/32055 ,  H01L21/32139 ,  H01L21/76834

摘要： Described is a method for improving the flatness of a layer deposited on a doped polycrystalline layer, which includes reducing the grain size of the polycrystalline layer to decrease the out-diffusion amount of the dopant from the polycrystalline layer, and/or reducing the amount of the out-diffusing dopant on the surface of the polycrystalline layer.

摘要翻译： 描述了一种用于提高沉积在掺杂多晶层上的层的平坦度的方法，其包括减小多晶层的晶粒尺寸以减少掺杂剂从多晶层的扩散量，和/或减少 多晶层表面上的扩散扩散掺杂剂。

公开(公告)号：US08594963B2

公开(公告)日：2013-11-26

申请号：US12873942

申请日：2010-09-01

申请人： Hsiang-Chou Liao ,  Che-Lun Hung ,  Tuung Luoh ,  Ling-Wuu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

发明人： Hsiang-Chou Liao ,  Che-Lun Hung ,  Tuung Luoh ,  Ling-Wuu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G06F2217/10 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A method of predicting product yield may include determining defect characteristics for a product based at least in part on inspection data associated with critical layers of the product, determining yield loss for each of the critical layers, and estimating product yield based on the determined yield loss of the critical layers. A corresponding apparatus is also provided.

摘要翻译： 预测产品产量的方法可以包括至少部分地基于与产品的关键层相关的检验数据确定产品的缺陷特性，确定每个关键层的产量损失，以及基于所确定的产量损失来估计产品产量 的关键层。 还提供了相应的装置。

公开(公告)号：US20120053855A1

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：US12873942

申请日：2010-09-01

申请人： Hsiang-Chou Liao ,  Che-Lun Hung ,  Tuung Luoh ,  Ling-Wuu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

发明人： Hsiang-Chou Liao ,  Che-Lun Hung ,  Tuung Luoh ,  Ling-Wuu Yang ,  Ta-Hone Yang ,  Kuang-Chao Chen

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G06F2217/10 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A method of predicting product yield may include determining defect characteristics for a product based at least in part on inspection data associated with critical layers of the product, determining yield loss for each of the critical layers, and estimating product yield based on the determined yield loss of the critical layers. A corresponding apparatus is also provided.

摘要翻译： 预测产品产量的方法可以包括至少部分地基于与产品的关键层相关的检验数据确定产品的缺陷特性，确定每个关键层的产量损失，以及基于所确定的产量损失来估计产品产量 的关键层。 还提供了相应的装置。