公开(公告)号：US09500670B2

公开(公告)日：2016-11-22

申请号：US14651233

申请日：2013-12-12

申请人： UNIVERSITAT BASEL

发明人： Roderick Lim ,  Marija Plodinec ,  Marko Loparic ,  Pascal Oehler ,  Leon Camenzind

IPC分类号： B82Y35/00 ,  G01Q40/00 ,  G01Q30/06 ,  G01Q20/00 ,  G01Q10/06 ,  G01Q10/00

CPC分类号： G01Q20/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/065 ,  G01Q30/06

摘要： The present invention relates to a method for controlling a scanning probe microscope having a probe (2) with a tip (21) for interacting with a sample (4), and a nanoscanner (1) for retaining the sample (4) or the probe (2), comprising the steps of monitoring the extension of the piezo element (1) along a first direction (R) along which the tip (21) is moved towards the sample (4), and adjusting the level of the probe (2) along the first direction (R) by means of an additional actuator (3), when the nanoscanner (1) exhibits an extension below or above a threshold value. The invention further relates to a device (100) for controlling a scanning probe microscope.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于控制扫描探针显微镜的方法，所述扫描探针显微镜具有带有用于与样品（4）相互作用的尖端（21）的探针（2）和用于保持样品（4）或探针 （2），包括以下步骤：沿尖端（21）朝向样品（4）移动的第一方向（R）监测压电元件（1）的延伸，并且调节探针（2）的水平 ）当所述纳米扫描仪（1）展现出低于或高于阈值的延伸时，通过附加致动器（3）沿所述第一方向（R）。 本发明还涉及一种用于控制扫描探针显微镜的装置（100）。