公开(公告)号：US5084300A

公开(公告)日：1992-01-28

申请号：US517635

申请日：1990-05-02

申请人： Willi Zander ,  Bernd Stritzker ,  Joachim Frohlingsdorf

发明人： Willi Zander ,  Bernd Stritzker ,  Joachim Frohlingsdorf

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  H01J37/20 ,  H01L39/24

CPC分类号： H01L39/2448 ,  C23C14/087 ,  C23C14/28 ,  Y10S505/732 ,  Y10S505/786

摘要： A rotating cylindrical target has material ablated therefrom by a laser beam trained to contact the surface along a line parallel to the rotation axis, thereby avoiding problems of crater formation which arise with disc-shaped targets.

摘要翻译： 旋转的圆柱形靶材具有通过激光束从其中被烧蚀的材料，所述激光束被训练成沿着平行于旋转轴线的直线接触表面，从而避免了由盘形靶产生的凹坑形成的问题。