公开(公告)号：US20100248155A1

公开(公告)日：2010-09-30

申请号：US12730707

申请日：2010-03-24

申请人： Woo-Seok Shim ,  Yong-Jin Chun ,  Suk-Joo Lee

发明人： Woo-Seok Shim ,  Yong-Jin Chun ,  Suk-Joo Lee

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70108

摘要： An illumination control module, which enables one diffraction optical element (DOE) to be applied to various photolithography processes, and a diffraction illumination system and a photolithography system including the same are provided. The illumination control module includes a convex-ring-shaped upper lens, and a concave-ring-shaped lower lens.

摘要翻译： 提供一种照明控制模块，其能够将一个衍射光学元件（DOE）应用于各种光刻工艺，以及衍射照明系统和包括其的光刻系统。 照明控制模块包括凸环形上透镜和凹环形下透镜。

公开(公告)号：US20060197581A1

公开(公告)日：2006-09-07

申请号：US11370273

申请日：2006-03-06

申请人： Yong-Jin Chun ,  Hirofumi Watanabe

发明人： Yong-Jin Chun ,  Hirofumi Watanabe

IPC分类号： H01L35/00

CPC分类号： G01K7/01 ,  G01K2215/00

摘要： A high precision temperature detecting circuit is disclosed. The temperature detecting circuit includes a first voltage source circuit for generating a voltage VPN that has a negative temperature coefficient using a work function difference of gate electrodes of two field effect transistors, a second voltage source circuit for generating a reference voltage VREF1 that is independent of temperature change using a work function difference of gate electrodes of two or more field effect transistors, an impedance conversion circuit for converting impedance of the voltage VPN and the reference voltage VREF1, and a subtracter circuit, to which the impedance converted voltages VPN and VREF1 are provided, for obtaining a difference voltage between the voltage VPN and the reference voltage VREF1, and for amplifying the difference voltage.

摘要翻译： 公开了一种高精度温度检测电路。 温度检测电路包括：第一电压源电路，用于使用两个场效应晶体管的栅电极的功函数差产生具有负温度系数的电压VPN;第二电压源电路，用于产生独立的参考电压VREF 1 使用两个或更多个场效应晶体管的栅电极的功函数差，用于转换电压VPN和参考电压VREF 1的阻抗的阻抗转换电路，以及减法电路，阻抗转换电压VPN和 提供VREF1，用于获得电压VPN和参考电压VREF 1之间的差分电压，并用于放大差分电压。

公开(公告)号：US20050170167A1

公开(公告)日：2005-08-04

申请号：US10513706

申请日：2002-05-07

申请人： Won-Bae Kim ,  Kwang-Bae Kim ,  Yun-Sung Kim ,  Gun-Jik Lee ,  Yong-Jin Chun ,  Chang-Uk Jung

发明人： Won-Bae Kim ,  Kwang-Bae Kim ,  Yun-Sung Kim ,  Gun-Jik Lee ,  Yong-Jin Chun ,  Chang-Uk Jung

IPC分类号： D01F1/10 ,  B32B3/26 ,  B32B3/00

CPC分类号： D01F1/10 ,  Y10T428/249971 ,  Y10T428/2927

摘要： Disclosed is a synthetic fiber, including hollow sphere-shaped particles each formed of any one selected from among an inorganic material, an organic material, or combinations thereof, which is advantageous in terms of a low specific gravity, thereby effectively solving conventional wearing problems.

摘要翻译： 公开了一种合成纤维，包括由无机材料，有机材料或其组合中的任一种形成的中空球形颗粒，这在低比重方面是有利的，从而有效地解决了常规的磨损问题。