公开(公告)号：US06482557B1

公开(公告)日：2002-11-19

申请号：US09534808

申请日：2000-03-24

申请人： Xiaoming Chen ,  Charles H. Howard ,  Franklin Dean Kalk ,  Kong Son ,  Paul Chipman

发明人： Xiaoming Chen ,  Charles H. Howard ,  Franklin Dean Kalk ,  Kong Son ,  Paul Chipman

IPC分类号： G03F900

CPC分类号： G03F1/84

摘要： A method and apparatus evaluates the runability of a photomask inspection tool that inspects plural sets of die, each die having a standard simulated industrial device feature at plural technology nodes. A technology node size is determined for each feature at which inspection by the tool provides no false detection of faults. A sensitivity module included on a photomask test plate along with a runability module allows determination of inspection tool sensitivity and runability in a single test sequence.

摘要翻译： 一种方法和装置评估检查多组模具的光掩模检查工具的可运行性，每个管芯在多个技术节点处具有标准的模拟工业设备特征。 对于每个特征确定技术节点大小，在该特征处，该工具的检查不会提供错误的错误检测。 包含在光掩模测试板中的灵敏度模块以及可运行性模块允许在单个测试序列中确定检查工具的灵敏度和运行性。

公开(公告)号：US06721695B1

公开(公告)日：2004-04-13

申请号：US09989509

申请日：2001-11-20

申请人： Xiaoming Chen ,  Charles H. Howard ,  Franklin Dean Kalk ,  Kong Son ,  Paul Chipman

发明人： Xiaoming Chen ,  Charles H. Howard ,  Franklin Dean Kalk ,  Kong Son ,  Paul Chipman

IPC分类号： G06G748

CPC分类号： G03F1/84

摘要： A method and apparatus evaluates the runability of a photomask inspection tool that inspects plural sets of die, each die having a standard simulated industrial device feature at plural technology nodes. A technology node size is determined for each feature at which inspection by the tool provides no false detection of faults. A sensitivity module included on a photomask test plate along with a runability module allows determination of inspection tool sensitivity and runability in a single test sequence.

摘要翻译： 一种方法和装置评估检查多组模具的光掩模检查工具的可运行性，每个管芯在多个技术节点处具有标准的模拟工业设备特征。 对于每个特征确定技术节点大小，在该特征处，该工具的检查不会提供错误的错误检测。 包含在光掩模测试板中的灵敏度模块以及可运行性模块允许在单个测试序列中确定检查工具的灵敏度和运行性。