公开(公告)号：US08749255B2

公开(公告)日：2014-06-10

申请号：US13018726

申请日：2011-02-01

申请人： Yasuhide Takeda ,  Hiroyuki Nagai ,  Yoji Ogino ,  Tatsuya Yamada

发明人： Yasuhide Takeda ,  Hiroyuki Nagai ,  Yoji Ogino ,  Tatsuya Yamada

IPC分类号： G01R31/00 ,  G01R31/26

CPC分类号： G01R31/2893 ,  G01R1/0483 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2874

摘要： An electronic device test apparatus which can optimize throughput and costs is provided.An electronic device test apparatus 1 comprises: a test cell cluster 10 having cell groups 11A to 11H each of which has a plurality of test cells 20; and a conveyor apparatus 30 supplying test carriers to a plurality of the test cells 20, and each of the test cell 20 has: contactors 215; a flow path 221 connected to a vacuum pump 25 and reducing pressure in a recess 211 of a pocket 21 so as to bring external terminals 73 and the contactors 215 into contact; and a test circuit for running a test on an electronic circuit formed into a die 90.

摘要翻译： 提供了可以优化生产量和成本的电子设备测试装置。 电子设备测试装置1包括：具有单元组11A至11H的测试单元簇10，每个单元组具有多个测试单元20; 以及向多个测试单元20提供测试载体的传送装置30，并且每个测试单元20具有：接触器215; 连接到真空泵25的流路221，并且减小袋21的凹部211中的压力，使外部端子73和接触器215接触; 以及用于在形成为模具90的电子电路上运行测试的测试电路。