公开(公告)号：US20120295440A1

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：US13565455

申请日：2012-08-02

申请人： ZHENHUA ZHANG ,  Virendra V.S. Rana ,  Vinay K. Shah ,  Chris Eberspacher

发明人： ZHENHUA ZHANG ,  Virendra V.S. Rana ,  Vinay K. Shah ,  Chris Eberspacher

IPC分类号： H01L21/768 ,  B23K26/36

CPC分类号： B23K26/03 ,  B23K26/06 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  H01L31/022441 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/547

摘要： Embodiments of the present invention generally provide methods and apparatus for material removal using lasers in the fabrication of solar cells. In one embodiment, an apparatus is provided that removes portions of a dielectric layer deposited on a solar cell substrate according to a desired pattern. In certain embodiments, methods for removing a portion of a material via a laser without damaging the underlying substrate are provided. In one embodiment, the intensity profile of the beam is adjusted so that the difference between the maximum and minimum intensity within a spot formed on a substrate surface is reduced to an optimum range. In one example, the substrate is positioned such that the peak intensity at the center versus the periphery of the substrate is lowered. In one embodiment, the pulse energy is improved to provide thermal stress and physical lift-off of a desired portion of a dielectric layer.

摘要翻译： 本发明的实施例一般提供了在制造太阳能电池中使用激光去除材料的方法和装置。 在一个实施例中，提供了根据期望的图案去除沉积在太阳能电池基板上的电介质层的部分的装置。 在某些实施例中，提供了用于通过激光去除材料的一部分而不损坏下面的衬底的方法。 在一个实施例中，调整光束的强度分布，使得在衬底表面上形成的斑点内的最大和最小强度之间的差减小到最佳范围。 在一个示例中，衬底被定位成使得在中心处的衬底的峰值强度相对于衬底的周边被降低。 在一个实施例中，改善脉冲能量以提供电介质层的期望部分的热应力和物理剥离。