公开(公告)号：US06723437B2

公开(公告)日：2004-04-20

申请号：US10078930

申请日：2002-02-19

申请人： Andrew G. Haerle ,  Gerald S. Meder

发明人： Andrew G. Haerle ,  Gerald S. Meder

IPC分类号： B22B900

CPC分类号： B24C1/086 ,  B24C1/003 ,  B24C3/322 ,  C04B41/009 ,  C04B41/53 ,  C04B41/91 ,  C23C16/4407 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67069 ,  Y10S134/902 ,  C04B41/5346 ,  C04B41/5353 ,  C04B35/00 ,  C04B35/565

摘要： A method for cleaning ceramic workpieces such as SiC boats used in semiconductor fabrication is disclosed. The method comprises washing a virgin or used ceramic workpiece with a strong acid and then using a pelletized CO2 cleaning process on the acid-washed component. The inventive method has been found to produce a workpiece having a very low level of metallic and particulate contaminants on its surface.

摘要翻译： 公开了一种用于清洁半导体制造中使用的诸如SiC舟皿的陶瓷工件的方法。 该方法包括用强酸洗涤原始或用过的陶瓷工件，然后在酸洗组分上使用颗粒状二氧化碳清洗方法。 已经发现本发明的方法产生在其表面上具有非常低水平的金属和颗粒污染物的工件。

公开(公告)号：US06284356B1

公开(公告)日：2001-09-04

申请号：US09288645

申请日：1999-04-09

申请人： Seiji Kiriyama

发明人： Seiji Kiriyama

IPC分类号： B22B900

CPC分类号： C23C30/005 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： Disclosed is an aluminum oxide coated tool member which comprises a substrate, an intermediate layer containing elements of Al, Ti, O and C provided on the substrate and an outer layer adjacent to the intermediate layer, wherein the outer layer comprises Al2O3, and the intermediate layer comprises at least one layer selected from the group consisting of a single-phase layer of a composite carboxide containing Ti and Al, and a complex-phase layer in which at least two selected from the group consisting of TiC, TiN, Ti(C,N), Ti(C,O), Ti(N,O), Ti(C,N,O), Al2O3, AlN, Al(O,N), Al(O,C), Al(O,N,C), a composite nitride containing Ti and Al, a composite oxide containing Ti and Al, a composite carboxide containing Ti and Al, a composite nitroxide containing Ti and Al, and a composite carbonitroxide containing Ti and Al are dispersed.

摘要翻译： 公开了一种氧化铝涂覆的工具构件，其包括基板，设置在基板上的包含Al，Ti，O和C的元素的中间层和与中间层相邻的外层，其中外层包括Al 2 O 3，中间层 层包含选自包含Ti和Al的复合羧化物的单相层中的至少一层，以及复合相层，其中选自TiC，TiN，Ti（C ，N（N），Ti（C，O），Ti（N，O），Ti（C，N，O），Al2O3，AlN，Al（O，N） C），含有Ti和Al的复合氮化物，含有Ti和Al的复合氧化物，含有Ti和Al的复合氧化物，含有Ti和Al的复合氮氧化物和含有Ti和Al的复合碳氮化物被分散。

公开(公告)号：US06777097B2

公开(公告)日：2004-08-17

申请号：US10170448

申请日：2002-06-14

申请人： Ryuji Hamada ,  Takehisa Minowa

发明人： Ryuji Hamada ,  Takehisa Minowa

IPC分类号： B22B900

CPC分类号： H01F41/026 ,  Y10T428/254 ,  Y10T428/256 ,  Y10T428/258 ,  Y10T428/259 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/31663

摘要： On a surface of a rare earth permanent magnet R—T—M—B wherein R is a rare earth element, T is Fe or Fe and Co, M is Ti, Nb, Al, V, Mn, Sn, Ca, Mg, Pb, Sb, Zn, Si, Zr, Cr, Ni, Cu, Ga, Mo, W or Ta, 5 wt %≦R≦40 wt %, 50 wt %≦90 wt %, 0 wt %≦M≦8 wt %, and 0.2 wt %≦B≦8 wt %, a solution comprising a flake fine powder of Al, Mg, Ca, Zn, Si, Mn or an alloy thereof and a silicone resin is applied and baked to form an adherent composite coating, thereby providing a corrosion resistant rare earth permanent magnet.

摘要翻译： 在稀土永磁体RTMB的表面，其中R是稀土元素，T是Fe或Fe和Co，M是Ti，Nb，Al，V，Mn，Sn，Ca，Mg，Pb，Sb，Zn， Si，Zr，Cr，Ni，Cu，Ga，Mo，W或Ta，5重量％≤R≤40重量％，50重量％<= 90重量％，0重量％≤= ，0.2重量％<= B <= 8重量％，涂布包含Al，Mg，Ca，Zn，Si，Mn或其合金的薄片状细粉末和有机硅树脂的溶液并烘烤形成粘合复合材料 涂覆，从而提供耐腐蚀的稀土永磁体。

公开(公告)号：US06620498B2

公开(公告)日：2003-09-16

申请号：US10222810

申请日：2002-08-19

申请人： Sakari Ruppi ,  Lennart Karlsson

发明人： Sakari Ruppi ,  Lennart Karlsson

IPC分类号： B22B900

CPC分类号： C23C16/30 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/252

摘要： An improved coated body having a nanocrystalline CVD coating of Ti(C,N,O) is disclosed. The coating is formed using the MTCVD process and including, as part of the gaseous mixture, CO, CO2 or mixtures thereof. The use of this dopant during the coating results in a much smaller, equiaxed grain size. The method of forming the body is also disclosed.

公开(公告)号：US06399209B1

公开(公告)日：2002-06-04

申请号：US09536419

申请日：2000-03-28

申请人： Sanjay Misra ,  Robert E. Kranz ,  Radesh Jewram

发明人： Sanjay Misra ,  Robert E. Kranz ,  Radesh Jewram

IPC分类号： B22B900

CPC分类号： C09K5/063 ,  B32B7/02 ,  B32B15/08 ,  H01L23/4275 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/24372 ,  Y10T428/31663 ,  Y10T428/31786 ,  Y10T428/31801 ,  Y10T428/31855 ,  H01L2924/00

摘要： A thermally conductive conformable interface pad for inter-position between a heat generating solid state electronic device and a heat sinking surface. The interface comprises a laminate of at least two layers, including a relatively soft conformable body layer with at least one surface consisting of an integrally bonded anti-blocking layer. The conformable body layer preferably comprises a thermally stable wax consisting of an alkyl substituted poly (hydro, methyl-siloxane) wax and a thermally conductive particulate solid, while the anti-blocking layer may comprise a mixture of an alkyl substituted poly (hydro, methyl-siloxane) wax and a silicone wax, a glassy polyester layer, or a cross-linked acrylic layer.

摘要翻译： 一种用于在发热固态电子器件和散热表面之间进行定位的导热适应界面焊盘。 该界面包括至少两层的层压体，其包括相对柔软的适形体层，至少一个表面由整体结合的防粘连层组成。 适形体层优选包括由烷基取代的聚（氢，甲基 - 硅氧烷）蜡和导热颗粒固体组成的热稳定蜡，而防粘连层可包含烷基取代的聚（氢，甲基 硅氧烷）蜡和硅氧烷蜡，玻璃状聚酯层或交联丙烯酸层。