公开(公告)号：WO2004038321A3

公开(公告)日：2005-05-06

申请号：PCT/IL0300888

申请日：2003-10-28

Applicant: TEVET PROCESS CONTROL TECHNOLO ,  DU-NOUR OFER ,  RUBINSTEIN VLADIMIR

Inventor： DU-NOUR OFER ,  RUBINSTEIN VLADIMIR

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/28

CPC classification number: G01B11/0625

Abstract: Thickness measurement apparatus for measuring layer thicknesses on patterned areas of a semiconductor wafer, comprises: a spectrum analyzer for obtaining reflection data taken from a patterned area and obtaining therefrom a frequency spectrum, a peak detector for searching the spectrum to find peak frequencies within said spectrum, the search being restricted to regions corresponding to peak frequencies found in an earlier learning stage, a frequency filter (56), associated with the peak detector, for filtering the spectrum about said peak frequencies, and a maximum likelihood fitter (60) for using parameters obtained in the learning stage to carry out maximum likelihood fitting of said filtered spectrum to obtain the desired layer thicknesses. By carrying out maximum likelihood fitting (60) using parameters obtained beforehand in a high resolution non-real time learning stage, it is possible to provide high resolution results in real time.

Abstract translation: 用于测量半导体晶片的图案区域上的层厚度的厚度测量装置包括：频谱分析器，用于获得从图案化区域获取的反射数据并从中获得频谱;峰值检测器，用于搜索光谱以在所述光谱内找到峰值频率 搜索限于对应于早期学习阶段中发现的峰值频率的区域，与峰值检测器相关联的用于滤波关于所述峰值频率的频谱的频率滤波器（56）和用于使用的最大似然钳位器（60） 在学习阶段获得的参数以执行所述滤波光谱的最大似然拟合以获得期望的层厚度。 通过使用在高分辨率非实时学习阶段中预先获得的参数进行最大似然拟合（60），可以实时提供高分辨率结果。

公开(公告)号：WO2004063774A3

公开(公告)日：2005-03-10

申请号：PCT/US2004000003

申请日：2004-01-06

Applicant: ATANASOV GEORGI A

Inventor： ATANASOV GEORGI A

IPC: G01N21/55 ,  G01N21/84 ,  G02B6/32 ,  G02B6/34 ,  H01L21/00 ,  G01B11/28 ,  G02B6/26 ,  G02B6/42

CPC classification number: G01N21/8422 ,  G01N21/55 ,  G02B6/2937 ,  G02B6/32 ,  H01L21/67253

Abstract: An optical monitoring system for monitoring thin film deposition on a substrate includes a support bridge that is attached on an inside of a deposition chamber. The system further includes a fiber optic collimator having an optical fiber for incoming light, and another fiber optic collimator having an optical fiber for transmitted or reflected light from the substrate. The system further includes a shutter that is closed when a desired thin film thickness is deposited on the substrate.

Abstract translation: 用于监测衬底上的薄膜沉积的光学监测系统包括附着在沉积室内部的支撑桥。 该系统还包括具有用于入射光的光纤的光纤准直器，以及具有用于来自基板的透射或反射光的光纤的另一光纤准直器。 该系统还包括当所需薄膜厚度沉积在基底上时关闭的快门。

公开(公告)号：WO2004040231A3

公开(公告)日：2004-11-25

申请号：PCT/US0334437

申请日：2003-10-29

Applicant: METRON SYSTEMS INC

Inventor： JOHNSTON KYLE S ,  BASS CHARLES M

IPC: G01B20060101 ,  G01B11/02 ,  G01B11/03 ,  G01B11/04 ,  G01B11/08 ,  G01B11/10 ,  G01B11/22 ,  G01B11/24 ,  G01B11/28 ,  G01B11/30 ,  G01B21/04

CPC classification number: G01B21/042

Abstract: Calibration techniques are disclosed for determining the rigid-body coordinate transformation that will precisely align the coordinate frame of a laser scanner with the coordinate frames of several different motion axes. The theory and use of at least these concepts are introduced by examining how these concepts aid the construction and use of a non-contact laser scanning system.

Abstract translation: 公开了用于确定将使激光扫描器的坐标系与几个不同运动轴的坐标系精确对准的刚体坐标变换的校准技术。 至少这些概念的理论和应用是通过检查这些概念如何有助于非接触式激光扫描系统的构建和使用而引入的。

公开(公告)号：WO2022186104A1

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：PCT/JP2022/008158

申请日：2022-02-28

Applicant: 株式会社東京精密

Inventor： 林　菜摘 ,  森井　秀樹 ,  吉田　徹夫 ,  木村　季文

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/28 ,  H01L21/66

Abstract: パーティクル発生量を管理することが可能なパーティクル計測装置、三次元形状測定装置、プローバ装置、パーティクル計測システム及びパーティクル計測方法を提供する。プローブ針（１４１）がコンタクトしたプローブ針跡を含む電極パッド（Ｐ）の表面形状を示すパッド表面形状データを取得する取得部（２５２）と、パッド表面形状データに基づき、パーティクルの計測の基準となるパッド基準面（Ｒ）を検知する検知部（２５３）と、パッド表面形状データに基づき、電極パッド（Ｐ）の表面形状におけるパッド基準面（Ｒ）から陥没している凹部の体積（ＶＭＲ）と、パッド基準面（Ｒ）から突出している凸部の体積（ＶＭＰ）を計算する凹凸計算部（２５４）と、凹部の体積（ＶＭＲ）と凸部の体積（ＶＭＰ）との体積差からパーティクル発生量を算出するパーティクル発生量算出部（２５５）と、を備える。

公开(公告)号：WO2022157939A1

公开(公告)日：2022-07-28

申请号：PCT/JP2021/002297

申请日：2021-01-22

Applicant: 日本電信電話株式会社

Inventor： 渡邉　一旭 ,  内堀　大輔 ,  濱野　勇臣 ,  櫻田　洋介 ,  荒武　淳

IPC: G01B11/28

Abstract: 本開示に係る劣化評価装置（２０）は、取得した画像から設備領域を検出する設備領域検出部（２１１）と、画像から劣化領域を検出する劣化領域検出部（２１２）と、検出した設備領域に基づいて、画像の少なくとも一部の画素分解能を推定する画素分解能推定部（２１３）と、画素分解能に基づいて劣化領域の大きさを推定する劣化大きさ推定部（２１４）と、を備える。

公开(公告)号：WO2022088096A1

公开(公告)日：2022-05-05

申请号：PCT/CN2020/125494

申请日：2020-10-30

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 贺王强 ,  丁益文 ,  路元元 ,  柴栋 ,  王洪

IPC: G06T7/00 ,  G01B11/28 ,  G01N21/88

Abstract: 一种缺陷（QX）实际面积的检测方法及装置、显示面板的检测方法及装置，其中，缺陷（QX）实际面积的检测方法包括：获取显示面板的检测图像（S10）；其中，检测图像具有缺陷（QX）区域；根据检测图像，确定缺陷（QX）在检测图像中的缺陷（QX）像素面积以及确定参照物在检测图像中的参照物像素（10）尺寸（S20）；根据缺陷（QX）像素（10）面积、参照物像素（10）尺寸以及参照物的实际尺寸，确定缺陷（QX）在显示面板中的实际面积（S30）。

公开(公告)号：WO2021126282A1

公开(公告)日：2021-06-24

申请号：PCT/US2020/013299

申请日：2020-01-13

Applicant: HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC.

Inventor： SHEKHAR, Prashant ,  KULKARNI, Abhijit

IPC: G01B11/28 ,  G06T7/62 ,  B65G43/08 ,  E21B21/065 ,  G01B11/022 ,  G06K17/0025 ,  G06K19/07758 ,  G06T2207/10016 ,  G06T7/0002

Abstract: A system for measuring drill cuttings may comprise a conveyor belt disposed below a shaker, wherein the shaker disposes the drill cuttings on to the conveyor belt, and an imaging system connected to the conveyor belt by a frame, wherein the frame positions the imaging system to form a field of view on the conveyor belt with the imaging system. The system may further include an information handling system configured to operate the shaker and the conveyor belt. A method for identifying a size of drill cuttings may comprise dropping drill cuttings on a conveyor belt from a shaker, operating the conveyor belt to move the drill cuttings through a field of view, viewing the drill cuttings in the field of view with an imaging system, and sizing the drill cuttings based at least in part on one or more calibration blocks attached to the conveyor belt.

公开(公告)号：WO2020149029A1

公开(公告)日：2020-07-23

申请号：PCT/JP2019/046744

申请日：2019-11-29

Applicant: 横浜ゴム株式会社

Inventor： 侯　剛

IPC: G01N17/00 ,  G01B11/02 ,  G01B11/28 ,  G01N21/17 ,  G01N21/88 ,  G01N33/44

Abstract: 作業工数を軽減しつつ、精度よくオゾン劣化の経時変化を把握できる加硫ゴム材料のオゾン劣化評価方法および評価システムを提供する。所定のオゾン濃度の試験槽２の中に、加硫ゴム材料の試験サンプルＳを予め設定された配置条件で固定フレーム３に取付けて配置し、この試験槽２の中に配置された状態の試験サンプルＳの表面に対置させたレーザセンサ５により、経時的にレーザセンサ５から試験サンプルＳの表面までの距離を検知してその検知データ５ｘを取得し、複数の時点間での試験サンプルＳの表面状態の変化を、取得した検知データ５ｘを演算装置８によって分析することで把握する。

公开(公告)号：WO2017210355A1

公开(公告)日：2017-12-07

申请号：PCT/US2017/035303

申请日：2017-05-31

Applicant: INDUSTRIAL DYNAMICS COMPANY, LTD.

Inventor： HUDSON, Kendall

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/02 ,  G01B11/04 ,  G01B11/22 ,  G01B11/24 ,  G01B11/28

Abstract: A system is described for inspecting a container having a top surface using light reflections and positional data. The system comprises a radiation source arranged such that the light beam projects radiation onto the top surface, wherein the radiation radiates along the outer edge of the container; a sensor, wherein the radiation is collected by the sensor reflected from the container using positional data, wherein the positional data is used to create a reference plane of the top of the top surface; and a processor operatively connected to the sensor, the processor integrates the positional data to detect defects in the container and creates a reference plane of a top surface of the container, wherein sensor captures the positional data of the container as the container moves on the conveyor; and the positional data is integrated using software to produce a 3D topographical map of the container.

Abstract translation: 描述了一种使用光反射和位置数据检查具有顶面的容器的系统。 该系统包括辐射源，该辐射源布置成使得光束将辐射投射到顶表面上，其中辐射沿着容器的外边缘辐射; 传感器，其中所述辐射由使用位置数据从所述容器反射的所述传感器收集，其中所述位置数据用于创建所述顶表面的所述顶部的参考平面; 以及可操作地连接到所述传感器的处理器，所述处理器集成所述位置数据以检测所述容器中的缺陷并且创建所述容器的顶表面的参考平面，其中当所述容器在所述传送器上移动时，所述传感器捕获所述容器的位置数据 ; 并且使用软件来整合位置数据以产生容器的3D地形图。

公开(公告)号：WO2012073519A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：PCT/JP2011/006763

申请日：2011-12-02

Applicant: 日本電気株式会社 ,  塚田 正人

Inventor： 塚田　正人

IPC: G01N21/27 ,  A01G7/00 ,  G01B11/28

CPC classification number: G06K9/60 ,  A01G7/00 ,  G01B11/285 ,  G01N21/251 ,  G01N21/84 ,  G01N2021/8466

Abstract: 　計測対象の植物の近傍に配置された反射体と、反射体との間に遮蔽物がない位置に配置され、反射体を撮影して撮影画像を出力する撮影手段と、撮影手段が出力する撮影画像に基づいて、反射体が反射する光の強度を算出する強度算出手段と、強度算出手段が算出した光の強度に基づいて、葉面積指数を算出する葉面積指数算出手段とを備えている。

Abstract translation: 本发明提供一种叶面积指标测量系统，该系统设置有：布置在要进行测量的设备附近的反射器; 图像拍摄装置，被布置在图像捕获装置和反射器之间不存在屏蔽物体的位置处，并且用于捕获反射器的图像并输出所捕获的图像; 强度计算装置，用于基于由图像捕获装置输出的拍摄图像计算由反射器反射的光的强度; 以及叶面积指标计算装置，用于根据由强度计算装置计算出的光的强度来计算叶面积指数。