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    공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템
    22.
    发明申请
    공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022025385A1

    公开(公告)日：2022-02-03

    申请号：PCT/KR2021/003819

    申请日：2021-03-29

    Applicant: 서울대학교산학협력단

    Inventor： 박희재 ,  이승우 ,  김민규

    IPC: G01B11/06 ,  G01B11/02 ,  G01N21/17 ,  G01N21/21 ,  G01J1/02 ,  G01J1/04 ,  G01J9/00

    Abstract: 본 발명에 따른 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템은, 광원에서 출발한 빛이 시료의 특정 영역만을 조사할 있도록 공간적으로 변조되는 공간 광 변조기; 상기 공간 광 변조기에서 변조된 빛의 방향을 바꾸며 상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 통과하는 제1빔스플리터; 상기 제1빔스플리터에서 굴절된 빛을 시료의 특정 영역으로 집광시키는 대물렌즈; 상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 상기 제1빔스플리터에서 분리되어 입사된 후 방향을 바꾸는 제2빔스플리터; 상기 제2빔스플리터에서 입사된 반사광에 의해 시료의 표면 이미지를 획득하는 제1카메라; 상기 대물렌즈의 후 초점면(back focal plane)의 특정 영역을 통과하는 반사광을 수광할 수 있도록 수광부가 설치된 광섬유; 및 상기 광섬유에서 수광된 빛의 강도를 측정하여 전기 신호로 출력하는 분광기;를 포함한 것을 특징으로 한다. (대표도: 도 11)

    電磁波検出器および電磁波検出器集合体
    23.
    发明申请
    電磁波検出器および電磁波検出器集合体 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021256018A1

    公开(公告)日：2021-12-23

    申请号：PCT/JP2021/009596

    申请日：2021-03-10

    Applicant: 三菱電機株式会社

    Inventor： 小川　新平 ,  嶋谷　政彰 ,  福島　昌一郎 ,  奥田　聡志

    IPC: H01L31/108 ,  G01J1/02

    Abstract: 電磁波検出器（１００）は、半導体層（４）と、第１絶縁膜（３ａ）と、二次元材料層（１）と、第１電極（２ａ）と、第２電極（２ｂ）と、第２絶縁膜（３ｂ）と、制御電極（２ｃ）とを備えている。第１絶縁膜（３ａ）は、半導体層（１）上に配置されている。第１絶縁膜（３ａ）には、開口部（ＯＰ）が形成されている。二次元材料層（１）は、開口部（ＯＰ）において半導体層（４）に電気的に接続されている。二次元材料層（１）は、開口部（ＯＰ）上から第１絶縁膜（３ａ）まで延在している。第２絶縁膜（３ｂ）は、二次元材料層（１）に接している。制御電極（２ｃ）は、第２絶縁膜（３ｂ）を介して二次元材料層（１）に接続されている。

    INSTRUMENTED SUBSTRATE APPARATUS
    25.
    发明申请
    INSTRUMENTED SUBSTRATE APPARATUS 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021173454A1

    公开(公告)日：2021-09-02

    申请号：PCT/US2021/018957

    申请日：2021-02-22

    Applicant: KLA CORPORATION

    Inventor： TAS, Robert D. ,  JENSEN, Earl

    IPC: G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J1/02 ,  H01L21/66 ,  G03F7/20

    Abstract: An instrumented substrate apparatus is configured to measure wavelength-resolved radiation, such as extreme ultraviolet radiation. The instrumented substrate apparatus includes a substrate and photoelectric sensors on the substrate. The photoelectric sensors include a photoemissive material, a photoelectron collector, and a measurement circuit. The measurement circuit is electrically coupled to the photoemissive material and the photoelectron collector. The measurement circuit is configured to measure a current generated by the photoelectron collectors by a current meter. Such current is used to determine the wavelength-resolved EUV measurement information by a controller on the instrumented substrate apparatus, or by communicating the current to a factory automation system.

    モニタ装置、モニタ方法、及びレーザ装置
    26.
    发明申请
    モニタ装置、モニタ方法、及びレーザ装置 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021166365A1

    公开(公告)日：2021-08-26

    申请号：PCT/JP2020/044779

    申请日：2020-12-02

    Applicant: 株式会社フジクラ

    Inventor： 松本　亮吉

    IPC: G01J1/02 ,  G02B6/02 ,  G02B6/036 ,  G02B6/42 ,  H01S3/00

    Abstract: 光ファイバの側面に対向するように配置された光検出器を用いて、その光ファイバを導波される電界分布の異なる複数の光の強度をモニタする技術を実現する。モニタ装置（１）は、光ファイバ（２）の側面に対向するように配置されたｍ個の光検出器（１１，１２）と、ｍ個の光検出器（１１，１２）の出力Ｄ１，Ｄ２，…,Ｄｍから、光ファイバ（２）を導波されるｎ個の光の強度Ｌ１,Ｌ２,…,Ｌｎを算出する演算装置（１３）と、を備えている。

    赤外線検出素子
    27.
    发明申请
    赤外線検出素子 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021161675A1

    公开(公告)日：2021-08-19

    申请号：PCT/JP2020/048675

    申请日：2020-12-25

    Applicant: 三菱電機株式会社

    Inventor： 藤澤　大介 ,  上野　雅史

    IPC: G01J1/02 ,  G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  H01L31/10 ,  H01L27/144 ,  H01L27/146

    Abstract: ダイオード（１１）が基板（１）の上に設けられ、基板（１）から断熱されている。正帰還回路（１８）は、ダイオード（１１）の温度変化によりダイオード（１１）の電流が減少した時にはダイオード（１１）の電流が更に減少するように、ダイオード（１１）の電流が増加した時にはダイオード（１１）の電流が更に増加するように正帰還ループを施す。

    显示器下部的传感器
    28.
    发明申请
    显示器下部的传感器 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021142638A1

    公开(公告)日：2021-07-22

    申请号：PCT/CN2020/072107

    申请日：2020-01-15

    Applicant: 杭州芯格微电子有限公司

    Inventor： 闵丙日

    IPC: G01J1/44 ,  G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  G01J1/02 ,  G02B27/28 ,  G01D5/344 ,  G01S17/02

    Abstract: 一种显示器下部的传感器（100），包括：光传感器（300），包括光照射部（310）和受光部（320），光照射部（310）照射用于感应位于显示器的外部的物体的感应光，受光部（320）检测感应用光从物体反射回来的反射光；第一传感器偏光层（110），配置在光传感器（300）的上部，并具有以第一角度倾斜的偏光轴；以及第一传感器延迟层（120），配置在传感器偏光层（110）的上部，并具有相对于偏光轴以第一角度倾斜的慢轴。

    半導体光検出素子
    29.
    发明申请
    半導体光検出素子 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021131760A1

    公开(公告)日：2021-07-01

    申请号：PCT/JP2020/046133

    申请日：2020-12-10

    Applicant: 浜松ホトニクス株式会社

    Inventor： 山本　晃永 ,  近藤　隆裕 ,  園部　弘典 ,  永野　輝昌 ,  土屋　龍太郎 ,  幸田　守弘 ,  鈴木　義之

    IPC: G01J1/02 ,  G01J1/42 ,  H01L31/10 ,  H01L31/107 ,  H01L27/146

    Abstract: 半導体光検出素子（１）は、互いに対向している第一主面（１１ａ）と第二主面（１１ｂ）とを有している第一導電型のシリコン基板（１１）と、互いに対向している第三主面（１９ａ）と第四主面（１９ｂ）とを有しているポリシリコン層（１９）と、を備えている。ポリシリコン層（１９）は、第三主面（１９ａ）が第一主面（１１ａ）と対向するようにシリコン基板（１１）上に配置されている。シリコン基板（１１）は、第一主面（１１ａ）の一部を含む第一領域（Ｒ１）と、第一主面（１１ａ）の別の一部を含む第二領域（Ｒ２）と、を含んでいる。第一領域（Ｒ１）には、第二導電型の第一半導体領域（１３）が形成されている。第二領域（Ｒ２）には、第一導電型の第二半導体領域（１５）が形成されている。ポリシリコン層（１９）には、第四主面（１９ｂ）に開口する複数の窪み（２１）が形成されている。

    통과 장치, 통과 장치를 구비한 내용물 수용 기구, 복약 관리 장치 및 내용물의 토출 여부를 판정하는 방법
    30.
    发明申请
    통과 장치, 통과 장치를 구비한 내용물 수용 기구, 복약 관리 장치 및 내용물의 토출 여부를 판정하는 방법 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021125817A1

    公开(公告)日：2021-06-24

    申请号：PCT/KR2020/018510

    申请日：2020-12-17

    Applicant: 박경도

    Inventor： 박경도 PARK, Kyung Do

    IPC: B65D83/04 ,  A61J7/00 ,  A61J7/04 ,  G01J1/02 ,  A61J7/0076 ,  B65D83/0427

    Abstract: 본 발명에 따른 내용물 통과 장치는 내용물을 이동 안내하기 위한 통과작동부; 상기 통과작동부에 회동 가능하게 구비되어 내용물이 통과되도록 운동되는 통과운동부; 및 상기 통과작동부에 구비되어, 상기 통과운동부 일단의 자유 회동운동에 의해 토출되는 내용물을 감지하는 감지부를 포함하고, 상기 감지부는 상기 감지된 내용물의 정보를 검출하는 것을 특징으로 한다. 상기 통과작동부는 내용물의 정량 토출을 위한 이동 경로를 형성하는 덕트 형태의 통로부와 상기 통로부로 연결되어 내용물을 안내하기 위한 가이드부를 포함하고, 상기 내용물은 상기 가이드부를 따라 이동하여 상기 통로부로 유입된 후 상기 통로부 상단의 개방부를 통해 외부로 토출되며, 상기 통과운동부는 상기 개방부를 개폐하는 개방부재, 회동운동의 중심이 되는 회동축 및 상기 회동축과 연결되어 상기 개방부재와 함께 회동하는 막음부재를 포함하고, 상기 통과운동부는 상기 통로부의 일측벽을 형성하고, 상기 수광부와 발광부는 상기 일측벽의 좌우측에 형성되는 양 측벽에 서로 대향되도록 배치된다.

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