公开(公告)号：WO1998009279A1

公开(公告)日：1998-03-05

申请号：PCT/US1997015162

申请日：1997-08-27

Applicant: QUINTA CORPORATION

Inventor： QUINTA CORPORATION ,  WILDE, Jeffrey, P. ,  DAVIS, Joseph, E. ,  PETERSEN, Kurt ,  DRAKE, Joseph ,  JERMAN, John

IPC: G11B07/135

CPC classification number: G11B7/1362 ,  G02B6/105 ,  G02B6/126 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/4246 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866 ,  G11B7/08564 ,  G11B7/08576 ,  G11B7/0901 ,  G11B7/122 ,  G11B7/127 ,  G11B7/1365 ,  G11B7/1372 ,  G11B7/1384 ,  G11B7/14 ,  G11B7/22 ,  G11B11/10515 ,  G11B11/10532 ,  G11B11/10534 ,  G11B11/10543 ,  G11B11/10554 ,  G11B11/10563 ,  G11B11/1058 ,  H02N1/008 ,  H04B10/2572

Abstract: A data storage and retrieval system (100) includes a micro-machined mirror assembly (400).

Abstract translation: 数据存储和检索系统（100）包括微加工镜组件（400）。

公开(公告)号：WO2014198473A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：PCT/EP2014/059610

申请日：2014-05-12

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

Inventor： WIPPERMANN, Frank ,  REIMANN, Andreas ,  BRÄUER, Andreas

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B7/028 ,  G02B7/008 ,  G02B7/025 ,  G02B7/08 ,  G02B7/181 ,  G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  G02B26/0866

Abstract: Es wird eine Vorrichtung mit einer optischen Struktur und Stegen beschrieben, bei der zwischen den Stegen und der tragenden Struktur Kleber angeordnet ist, wobei der Kleber wirksam ist, um nach dessen Aushärtung eine vorbestimmte Ausrichtung der optischen Struktur bezüglich einer Bezugsebene zu bewirken.

Abstract translation: 本发明描述了包括光学结构和平面的装置，其中设置在所述脊和所述支撑结构之间的粘合剂，其中所述粘合剂是可操作其固化后相对于以实现所述光学结构的预定对准到一个参考平面。

公开(公告)号：WO2012147167A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：PCT/JP2011/060189

申请日：2011-04-26

Applicant: トヨタ自動車株式会社 ,  谷田 篤志

Inventor： 谷田　篤志

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/10 ,  G02B26/0866

Abstract: 　一面にミラーを有するミラー部を両側から挟むように支持する梁部を有し、該梁部をねじり駆動することにより前記ミラー部を所定の共振周波数で揺動させるミラー装置であって、　前記梁部の表面上に、加熱により変形する熱変形材料が設けられ、　前記梁部のバネ定数が、前記熱変形材料の加熱変形により、前記所定の共振周波数で前記ミラー部を揺動させるように調整されたことを特徴とする。

Abstract translation: 一种反射镜装置，其具有支撑在其间夹着在一个表面上具有反射镜的反射镜部分并且以扭转方式驱动光束部分以特定共振频率振荡镜部分的光束部件，其特征在于 通过热变形的热变形材料设置在梁部件的表面上，并且通过热变形材料的热变形来调节梁部件的弹簧常数，以使镜部件 以上述特定谐振频率振荡。

公开(公告)号：WO2011128995A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：PCT/JP2010/056696

申请日：2010-04-14

Applicant: トヨタ自動車株式会社 ,  古賀 光

Inventor： 古賀　光

IPC: G02B3/14 ,  G02B3/00 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B3/14 ,  G02B3/12 ,  G02B26/0866

Abstract: 　本発明は、所望の界面形状を形成することができる光学素子、光学素子アレイ、及び光学素子の製造方法を提供することを目的とする。本発明のマイクロレンズ１及びマイクロレンズアレイ３０では、液相を成す透明液１６と気相を成すマイクロバブル１７との少なくとも一方が、曲率制御部６によって温度調節される。そして、温度調節された透明液１６、マイクロバブル１７が熱膨張又は熱収縮することにより、透明液１６とマイクロバブル１７との間に形成される曲面状の界面Ｂの形状が変化する。よって、界面形状の制御が可能となり、所望の界面形状を形成することができる。また、温度調節のため電流印加によるジュール熱を利用するので、容器１０内の透明液１６やマイクロバブル１７に直接電圧を印加しこれらの表面張力を変化させる場合に比して、印加電圧を低減できる。

Abstract translation: 公开了一种能够形成所需界面形状的光学元件; 光学元件阵列; 以及光学元件的制造方法。 具体公开的是微透镜（1）和微透镜阵列（30），其中构成液相的透明液体（16）的温度和/或构成气相的微泡（17）的温度由 曲率控制单元（6）。 其温度被控制的透明液体（16）和/或微泡（17）被热膨胀或热收缩，使得透明液体（16）和微泡之间的弯曲界面（B）的形状 （17）改变。 因此，能够进行界面形状的控制，能够形成期望的界面形状。 此外，由于采用通过施加电流产生的焦耳热用于温度控制，与透明液体（16）和微泡（17）的表面张力相比，可以降低要施加的电压 ）通过直接向容器（10）中的透明液体（16）和微泡（17）施加电压而改变。

公开(公告)号：WO2010141942A4

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：PCT/US2010037618

申请日：2010-06-07

Applicant: MICROSTAR TECHNOLOGIES LLC ,  OAKLAND UNIVERSITY A MICHIGAN CONSTITUTIONAL BODY CORPORATE AND INSTITUTION OF HIGHER EDUCATION ,  SLICKER JAMES MELVIN ,  QU HONGWEI

Inventor： SLICKER JAMES MELVIN ,  QU HONGWEI

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  G02B26/00 ,  H01H3/00 ,  H01H11/00 ,  H01H37/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  G02B26/0866 ,  H01H1/50 ,  H01H2001/0047 ,  H01H2001/0078 ,  H01H2061/006

Abstract: A MEMS switch includes a latch mechanism, first and second electrical conductors, a first latch actuator, a second latch actuator, and an axial actuator. The latch mechanism may include a transfer rod and a contact member, the contact member extending radially outwardly from a position along the axial length of the transfer rod. The first and second electrical conductors may extend along, and may be radially offset from, a portion of the transfer rod. The first latch actuator may include a first latch pin, and the second latch actuator may include a second latch pin, the first and second latch actuators being configured to move toward and away from the transfer rod, and the first and second latch pins configured to engage the contact member. The at least one axial actuator may be configured to move the contact member towards and away from the first and second electrical conductors.

Abstract translation: MEMS开关包括闩锁机构，第一和第二电导体，第一闩锁致动器，第二闩锁致动器和轴向致动器。 闩锁机构可以包括传送杆和接触构件，接触构件从沿着传送杆的轴向长度的位置径向向外延伸。 第一和第二电导体可以沿着传送杆的一部分延伸并且可以从传送杆的一部分径向偏移。 所述第一闩锁致动器可以包括第一闩锁销，并且所述第二闩锁致动器可以包括第二闩锁销，所述第一闩锁致动器和所述第二闩锁致动器被配置为朝向和远离所述转移杆移动，并且所述第一闩锁销和所述第二闩锁销被配置为 接触接触件。 所述至少一个轴向致动器可以构造成使接触构件朝向和远离第一电导体和第二电导体移动。

公开(公告)号：WO2010096081A1

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：PCT/US2009/052705

申请日：2009-08-04

Applicant: UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. ,  XIE, Huikai ,  WU, Lei ,  PAIS, Andrea ,  SAMUELSON, Sean, Robert

Inventor： XIE, Huikai ,  WU, Lei ,  PAIS, Andrea ,  SAMUELSON, Sean, Robert

IPC: G01J3/45 ,  G01N21/35 ,  B81B7/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01J3/4535 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/38 ,  G01N2021/3595 ,  G02B26/0866

Abstract: A MEMS-based Fourier Transform (FT) spectrometer is provided. According to an embodiment, the MEMS-based FT spectrometer is an FT infrared (FTIR) spectrometer. The FT spectrometer can include a beam splitter positioned to receive an incoming beam from a light source and split the incoming beam into a first sub-beam and a second sub-beam, a fixed mirror positioned to receive the first sub-beam from the beam splitter, a scanning MEMS mirror positioned to receive the second sub-beam from the beam splitter, and a photodetector, wherein a reflected first sub-beam from the fixed mirror and a reflected second sub-beam from the scanning MEMS mirror recombine at the beam splitter and become directed to the photodetector. According to one embodiment, the photodetector is a MEMS-based IR detector. In addition, the MEMS-based IR detector can be an un-cooled IR detector having a capacitive sensing structure.

Abstract translation: 提供了基于MEMS的傅里叶变换（FT）光谱仪。 根据实施例，基于MEMS的FT光谱仪是FT红外（FTIR）光谱仪。 FT分光计可以包括分束器，其被定位成接收来自光源的入射光束，并将入射光束分成第一子光束和第二子光束，固定镜定位成从光束接收第一子光束 分离器，定位成从分束器接收第二子光束的扫描MEMS镜和光电检测器，其中来自固定镜的反射的第一子光束和来自扫描MEMS镜的反射的第二子光束在光束处复合 分离器并且被引导到光电检测器。 根据一个实施例，光电检测器是基于MEMS的IR检测器。 此外，基于MEMS的IR检测器可以是具有电容感测结构的未冷却的IR检测器。

公开(公告)号：WO2009155968A1

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：PCT/EP2008/058018

申请日：2008-06-24

Applicant: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) ,  ABELE, Nicolas ,  KHECHANA, Faouzi ,  RENAUD, Philippe

Inventor： ABELE, Nicolas ,  KHECHANA, Faouzi ,  RENAUD, Philippe

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0866 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/042

Abstract: The invention concerns a method of fabricating a micromirror (1) in a wafer (3), comprising the following steps: depositing and etching layers (7, 9) forming two arms (5); etching the wafer such that in the back face only a thin portion of the wafer remains in the region of formation of the micromirror and the arms; performing an anisotropic etch, such that the thin portion remains only in the areas of the micromirror and the arms; and performing an isotropic etch to remove the thin portions under the arms, the etching step for forming the arms being performed following their shape and so as to form holes (70) traversing the arms, the holes being positioned at edges of the region separating the micromirror and the wafer on both the side of the micromirror and the side of the portions of the wafer remaining after the anisotropic etching step. The invention also concerns the micromirror.

Abstract translation: 本发明涉及一种在晶片（3）中制造微镜（1）的方法，包括以下步骤：沉积和蚀刻形成两个臂（5）的层（7,9）; 蚀刻晶片，使得在背面仅晶片的一部分保留在微镜和臂的形成区域中; 执行各向异性蚀刻，使得薄部分仅保留在微镜和臂的区域中; 并执行各向同性蚀刻以去除臂下方的薄部分，用于形成臂的蚀刻步骤按照它们的形状进行，并且形成穿过臂的孔（70），孔位于分隔 微镜和微镜两侧的晶片以及在各向异性蚀刻步骤之后残留的晶片部分的一侧。 本发明还涉及微镜。

公开(公告)号：WO2006019571B1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：PCT/US2005023920

申请日：2005-07-06

Applicant: STEREO DISPLAY INC ,  ANGSTROM INC

Inventor： CHO GYOUNG II ,  GIM DONG WOO ,  KIM TAE HYEON ,  SEO CHEONG SOO

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B3/14 ,  G02B5/09 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0866

Abstract: A Discretely Controlled Micromirror Array Lens (DCMAL) consists of many Discretely Controlled Micromirrors (DCMs) and actuating components. The actuating components control the positions of DCMs electrostatically. The optical efficiency of the DCMAL is increased by locating a mechanical structure upholding DCMs and the actuating components under DCMs to increase an effective reflective area. The known microelectronics technologies can remove the loss in effective reflective area due to electrode pads and wires. The lens can correct aberrations by controlling DCMs independently. Independent control of each DCM is possible by known microelectronics technologies. The DCM array can also form a lens with arbitrary shape and/or size, or a lens array comprising the lenses with arbitrary shape and/or size.

Abstract translation: 离散控制的微镜阵列透镜（DCMAL）由许多离散控制微镜（DCM）和致动组件组成。 致动部件静电控制DCM的位置。 通过在DCM下定位保持DCMs和致动组件的机械结构以增加有效的反射面积来增加DCMAL的光学效率。 已知的微电子技术可以消除由于电极焊盘和电线引起的有效反射区域的损耗。 镜头可以通过独立控制DCM来校正像差。 通过已知的微电子技术可以对每个DCM进行独立控制。 DCM阵列还可以形成具有任意形状和/或尺寸的透镜，或者包括具有任意形状和/或尺寸的透镜的透镜阵列。

公开(公告)号：WO2005078506A3

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：PCT/US2005004065

申请日：2005-02-09

Applicant: MICROVISION INC ,  DAVIS WYATT O ,  BROWN DEAN R ,  MONTAGUE THOMAS W ,  SPRAGUE RANDALL B

Inventor： DAVIS WYATT O ,  BROWN DEAN R ,  MONTAGUE THOMAS W ,  SPRAGUE RANDALL B

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  H01L21/78 ,  H04N1/04

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866 ,  G02B26/105

Abstract: A high performance MEMS scanner (202) is disclosed. In some embodiments, scanner mirror has a wide and short aspect ratio that is similar to rotating polygon facets. Long torsion arms (206) allow large rotation angles including 20° zero-to-peak mechanical and greater. Suspensions (208) couple the scan mirror to torsion arms (206), reducing dynamic mirror deformation by spreading the torque load. "leverage members" (212) at the distal ends of the torsion arms (206) help reduce stress concentrations. Elimination of a mounting frame increases device yield. Heater leads allow for precise trimming of the scanner resonant frequency. A compressive mount holds mounting pads (214) against mounting structures.

Abstract translation: 公开了一种高性能MEMS扫描仪（202）。 在一些实施例中，扫描仪反射镜具有类似于旋转多边形面的宽而短的纵横比。 长扭臂（206）允许大的旋转角度，包括20°零到机械和更大的旋转角度。 悬架（208）将扫描镜耦合到扭转臂（206），通过扩展转矩负载来减少动态镜像变形。 在扭臂（206）的远端处的“杠杆部件”（212）有助于减少应力集中。 消除安装框架会增加设备的产量。 加热器引线允许精确调整扫描器谐振频率。 压缩安装件将安装垫（214）保持抵靠安装结构。

公开(公告)号：WO2006019571A3

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：PCT/US2005023920

申请日：2005-07-06

Applicant: STEREO DISPLAY INC ,  ANGSTROM INC ,  CHO GYOUNG IL ,  GIM DONG WOO ,  KIM TAE HYEON ,  SEO CHEONG SOO

Inventor： CHO GYOUNG IL ,  GIM DONG WOO ,  KIM TAE HYEON ,  SEO CHEONG SOO

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B3/14 ,  G02B5/09 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0866

Abstract: A Discretely Controlled Micromirror Array Lens (DCMAL) consists of many Discretely Controlled Micromirrors (DCMs) and actuating components. The actuating components control the positions of DCMs electrostatically. The optical efficiency of the DCMAL is increased by locating a mechanical structure upholding DCMs and the actuating components under DCMs to increase an effective reflective area. The known microelectronics technologies can remove the loss in effective reflective area due to electrode pads and wires. The lens can correct aberrations by controlling DCMs independently. Independent control of each DCM is possible by known microelectronics technologies. The DCM array can also form a lens with arbitrary shape and/or size, or a lens array comprising the lenses with arbitrary shape and/or size.

Abstract translation: 分立控制微镜阵列透镜（DCMAL）由许多分立控制微镜（DCM）和致动组件组成。 致动部件以静电方式控制DCM的位置。 DCMAL的光学效率通过在DCM下方定位支撑DCM和致动部件的机械结构来增加有效反射面积而增加。 已知的微电子技术可以消除由于电极焊盘和电线导致的有效反射区域的损失。 镜头可以通过独立控制DCM来校正像差。 已知的微电子技术可以独立控制每个DCM。 DCM阵列还可以形成具有任意形状和/或尺寸的透镜，或者包括具有任意形状和/或尺寸的透镜的透镜阵列。