公开(公告)号：WO2008054239A1

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：PCT/RU2007/000086

申请日：2007-02-22

Applicant: ЗАКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО «НАУЧНОЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ» ,  АЛЕКСЕЕВ Алексей Николаевич ,  ПОГОРЕЛЬСКИЙ Михаил Юрьевич ,  МАХОВ Игорь Евгеньевич ,  КРАТЕНКО Владимир Иванович

Inventor： АЛЕКСЕЕВ Алексей Николаевич ,  ПОГОРЕЛЬСКИЙ Михаил Юрьевич ,  МАХОВ Игорь Евгеньевич ,  КРАТЕНКО Владимир Иванович

IPC: C30B23/08 ,  H01L21/26 ,  C23C14/28

CPC classification number: C30B23/02 ,  C23C14/50 ,  C23C16/4586 ,  C30B25/12 ,  C30B35/005 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: Ростовой манипулятор вакуумной камеры предназначен для выращивания тонких пленок полупроводников методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Манипулятор размещен в вакуумной камере, которая содержит корпус (1) и крышку (2). Манипулятор содержит штангу (3) с нагревателем (4) на нижнем конце и базовым фланцем (5) на верхнем конце, полый трубчатый элемент (6) с держателем (17) полупроводниковой подложки (16) на нижнем конце. Штанга установлена внутри трубчатого элемента и сопряжена с ним посредством подшипников (7,8). Трубчатый элемент снабжен приводом вертикального возвратно-поступательного перемещения, выполненным в виде сильфона (10). Сильфон укреплен на крышке вакуумной камеры и снабжен механизмом (9) сжатия - растяжения. Трубчатый элемент снабжен механизмом его вращения, который укреплен на базовом фланце и включает привод (11) и зубчатую передачу. Базовый фланец жестко укреплен на сильфоне. В результате повышается качество выращиваемых гетероструктур.

Abstract translation: 真空室的本发明生长操纵器用于通过分子束外延生长半导体薄膜。 将本发明的机械手放置在由主体（1）和盖（2）组成的真空室中。 所述操纵器包括设置有安装在其下端的加热器（4）和设置在其顶端的基座凸缘（5）的杆（3）和管状中空元件（6） 在其下端设置有半导体衬底（16）的保持器（17）。 该杆布置在管状元件的内部，并通过轴承（7,8）与其配合。 管状元件设置有用于执行垂直往复运动的驱动器，并以波纹管（10）的形式实施。 波纹管固定在真空室的盖上，并设有压缩延伸机构（9）。 管状元件设置有用于旋转的机构，其被固定到基部凸缘并且包括驱动器（11）和齿轮传动装置。 底座法兰刚性地固定在波纹管上。 本发明使得可以提高生长的异质结构的质量。