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公开(公告)号:WO2016190209A1
公开(公告)日:2016-12-01
申请号:PCT/JP2016/064854
申请日:2016-05-19
Applicant: ニッコー・マテリアルズ株式会社
Abstract: 基材の凹凸として尖った部分を有するものに対しても、樹脂フィルムを基材の凹凸に完全に追従させることができる積層装置および積層方法を提供するため、凹凸を有する基材のその凹凸面にBステージ状態の熱硬化性樹脂からなる樹脂フィルムを載置した仮積層体を搬送する搬送手段と、搬送された仮積層体を収容する密閉空間形成手段と、上記密閉空間形成手段によって形成された密閉空間を負圧にする負圧形成手段と、上記負圧状態の密閉空間において仮積層体を基材側から加熱し、樹脂フィルムを軟化する加熱手段と、上記負圧状態の密閉空間を常圧または加圧にし、非接触状態で上記軟化した樹脂フィルムを基材の凹凸に沿わせて密着させ上記仮積層体から本積層体を形成するようにした。
Abstract translation: 为了提供一种层压装置和层压方法,即使基板上的不规则性包括尖锐部分,也可以使树脂膜完全遵循基板上的凹凸,该层压装置设置有:输送装置, 包括具有不规则性的基板的暂时层压体,具有由布置在基板的不规则表面上的B级状态的热固性树脂制成的树脂膜; 密封空间形成装置,用于容纳所传送的临时层叠体; 负压形成装置,用于在由所述密封空间形成装置形成的密封空间中产生负压; 以及用于在负压状态的密封空间中从其基板侧加热临时层叠体的加热装置,以使树脂膜软化。 将负压状态的密封空间设定为环境压力或加压,使沿非接触状态软化的树脂膜沿着基板的凹凸粘附,从临时形成最终的层压体 层压体。
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公开(公告)号:WO2016199687A1
公开(公告)日:2016-12-15
申请号:PCT/JP2016/066520
申请日:2016-06-03
Applicant: ニッコー・マテリアルズ株式会社
CPC classification number: B32B37/1054 , B29C43/28 , B29C43/36 , B30B15/34 , B32B37/1018 , B32B41/00 , B32B2457/08 , H05K3/00 , H05K3/4655 , H05K2203/0278 , H05K2203/063 , H05K2203/085 , H05K2203/163
Abstract: ワークを押圧する押圧体の停止位置を精密に制御でき、仕上がり厚みのばらつきが少ない積層体を製造する積層装置を提供するため、ワーク搬送手段と、真空積層手段(真空積層装置20)と、平面プレス手段(平面プレス装置30)とを備えた積層装置であって、平面プレス手段(平面プレス装置30)が、一対の押圧体(プレスブロック31,31')の一方を支承するボールねじ36と、ボールねじ36のねじ軸36aに接続されたサーボモータ35と、一方の押圧体31'と他方の押圧体31の間の距離を計測する間隙測定手段(リニアスケール37)と、一方の押圧体31'を他方の押圧体30に対して所定の間隙となる位置まで移動させて停止させる押圧間隙制御手段とを有しており、押圧間隙制御手段を、間隙測定手段(リニアスケール37)により得られる押圧体間距離情報に基づいてサーボモータ35の回転数を変更するものとした。
Abstract translation: 为了提供一种层压装置,用于制造精加工厚度变化小的层叠体,并且可以精确地控制用于按压工件的按压体的停止位置,层压装置设置有工件传送装置,真空层压装置 (真空层压装置(20))和平压装置(平压装置(30)),其中平压装置(平压装置(30))具有用于支撑一对 按压体(压块31,31'),与滚珠丝杠(36)的螺纹轴(36a)连接的伺服马达(35),用于测量滚珠丝杠(36)的距离的间隙测量装置 按压体(31')和另一个按压体(31),以及按压间隙控制单元,其在相对于另一个按压体(31)产生预定间隙的位置上使一个按压体(31')移动和停止, ,所述按压间隙控制单元被配置为修改所述笔尖 根据由间隙测量装置(线性刻度(37))获得的按压体之间的距离信息,伺服马达(35)的距离d。
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