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公开(公告)号：WO2008038467A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/JP2007/065737
申请日：2007-08-10
CPC classification number: C23C14/32 , H01J37/31 , H01J37/32431 , H01J2237/08 , H05H1/52
Abstract: 本発明の一体型中間電極(G)は、導電性を有する第１ハウジング(11)と、該第１ハウジングと同心状にかつ該第１ハウジングの内周面に接触するように設けられた導電性を有する第１スリーブ(12)と、前記第１ハウジングに該第１ハウジングと同心状に収容された第１磁石(15)と、前記第１ハウジングと同軸状に設けられた導電性を有する第２ハウジング(17)と、該第２ハウジングと同心状にかつ該第２ハウジングの内周面に接触するように設けられた導電性を有する第２スリーブ(18)と、前記第２ハウジングに該第２ハウジングと同心状に収容された第２磁石(21)と、を備え、前記第１ハウジングと前記第２ハウジングとが絶縁部材(16)を介して一体化されている。
Abstract translation: 集成的中间电极（G）包括第一导电壳体（11），与第一壳体同心设置的第一导电套筒（12），与第一壳体的内圆周表面接触;第一磁体（15） 与第一壳体同轴地设置的第二导电壳体（17），与第二壳体同心设置的与第二壳体的内周面接触的第二导电套筒（18），以及第二磁体（21） ）包含在第二壳体中。 第一壳体和第二壳体通过绝缘构件（16）一体化。
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公开(公告)号：WO2008032523A1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/JP2007/065959
申请日：2007-08-16
CPC classification number: H01J37/32431 , H01J37/31 , H01J2237/08 , H05H1/52 , H05H1/54
Abstract: 本発明の圧力勾配型プラズマガン(1)は、カソードマウント(2)と、筒体(10)と、カソード(8)と、前記筒体(10)の前記カソード(8)より前側の部分に設けられ第１スリーブ(12)とともに第１中間電極(G 1 )を構成する第１ハウジング(11)と、前記第１ハウジング(11)と同心状に設けられた前記第１スリーブ(12)と、前記筒体(10)に前記第１ハウジング(11)に対し前側にかつ間隔を置いて設けられ第２スリーブ(18)とともに第２中間電極(G 2 )を構成する第２ハウジング(17)と、前記第２ハウジング(17)と同心状に設けられた前記第２スリーブ(18)と、を備え、前記第１ハウジング(11)及び／又は前記第２ハウジング(17)がアルミニウム合金で構成されている。
Abstract translation: 压力梯度等离子体枪（1）具有阴极座（2）; 管体（10）; 阴极（8）; 在所述阴极（8）前面安装在所述圆筒体（10）中的第一壳体（11），以及与第一套筒（12）一起形成第一中间电极（G 1 SUB）; 所述第一套筒（12）与所述第一壳体（11）同心设置; 第二壳体（17），安装在所述圆柱体（10）中，在所述第一壳体（11）的前面，间隔在其间并形成第二中间电极（G 2 2 N） 第二套筒（18）; 并且所述第二套筒（18）与所述第二壳体（17）同心地设置。 第一壳体（11）和/或第二壳体（17）由铝合金制成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2007066574A1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：PCT/JP2006/323981
申请日：2006-11-30
IPC: C23C14/34 , H01L21/285 , H05H1/48
CPC classification number: H01J37/3266 , C23C14/35 , H01J37/32009
Abstract: 本発明のシートプラズマ成膜装置(100)は、減圧容器と、プラズマガン(10)と、陽極(51)と、プラズマ流動手段と、前記減圧容器の一部を成すシートプラズマ変形室(20)と、シート状のプラズマに変形する一対の永久磁石(24A，24B)と、前記減圧容器の一部を成す成膜室(30)と、を備え、前記減圧容器は、前記成膜室(30)の開口部を構成する第１、第２のボトルネック部(29，39)を有し、前記シート状のプラズマが前記シートプラズマ変形室(20)から該第１のボトルネック部(29)を通って前記成膜室(30)に流入し、かつ該流入したシート状のプラズマが該第２のボトルネック部(39)を通って前記陽極(51)へ流出するように形成され、前記シート状のプラズマの厚み方向において、前記第１、第２のボトルネック部(29，39)の内寸を前記成膜室(30)の内寸よりも小さくする。
Abstract translation: 本发明提供一种片状等离子体成膜装置（100），其包括减压容器，等离子体枪（10），阳极（51），等离子体流化装置，构成减压部分的片状等离子体变形室（20） 容器，用于变形为片状等离子体的一对永磁体（24A，24B）以及构成减压容器的一部分的成膜室（30）。 减压容器具有构成成膜室（30）的开口的第一和第二瓶颈部（29,39），其结构如下。 片状等离子体通过第一瓶颈部（29）从片状等离子体变形室（20）流入成膜室（30）。 流入成膜室（30）的片状等离子体通过第二瓶颈部（39）流出到阳极（51）。 使第一和第二瓶颈部件（29,39）的内部尺寸小于成膜室（30）在片状等离子体的厚度方向上的内部尺寸。
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公开(公告)号：WO2007066606A1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：PCT/JP2006/324155
申请日：2006-12-04
CPC classification number: C23C14/35 , H01J37/32009 , H01J37/3266
Abstract: シートプラズマに角を発生させないことにより、プラズマ密度を高くし、スパッタ効率がよく、また、シートプラズマに角を発生させないことにより、安全に運転することができるプラズマ成膜装置を提供することを目的とする。 ソースプラズマを輸送方向に向けて放出可能なプラズマガン１と、シートプラズマ変形室２と、互いに同極同士を向き合わせて配置される磁界発生手段９の対と、成膜室３と、を備え、輸送方向において磁界発生手段９の対より上流側に設けられた成形電磁コイル６を有し、磁界発生手段９の対及び成形電磁コイル６が、輸送中心１００の成形電磁コイル６及び磁界発生手段９の対を通過する部分及びその近傍部において輸送方向における磁束密度が略一定である磁場を発生させるプラズマ成膜装置。
Abstract translation: 通过防止片状等离子体中的角落发生而提高等离子体密度和溅射效率的等离子体成膜设备，并且通过防止片状等离子体中的角落发生而确保稳定的操作。 等离子体膜沉积设备包括能够将等离子体朝向传送方向放电的等离子体枪（1），片状等离子体变形室（2），以相同磁极面对的一对磁场产生装置（9） 成膜室（3）。 在一对磁场产生装置（9）的输送方向的上游侧设有成形电磁线圈（6），一对磁场产生装置（9）和整形电磁线圈（6）产生 成形电磁线圈（6）和一对磁场产生装置（9）经过输送中心（100）的部分的输送方向上的磁通密度基本恒定的磁场 。
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公开(公告)号：WO2007099658A1
公开(公告)日：2007-09-07
申请号：PCT/JP2006/316942
申请日：2006-08-29
CPC classification number: C23C14/32 , H01J37/32431 , H05H1/54
Abstract: 本発明のプラズマガン（１）は、プラズマ流出口（７０）を有する容器（７２）と、容器（７２）の内部に配設され放電によりプラズマを発生するカソード（１８）と、プラズマ流出口（７０）とカソード（１８）との間に位置可能に設けられ、カソード（１８）で発生したプラズマを受けることが可能な補助アノード（３１）と、容器（７２）の内部を排気及び封止するための排気バルブ（２６）と、を備え、カソード（１８）の放電により発生するプラズマのプラズマ流出口（７０）からの流出を阻止及び許容するプラズマ流出阻止／許容装置（３０）と、を備える。
Abstract translation: 等离子体枪（1）设置有具有等离子体排放口（70）的容器（72）; 布置在所述容器（72）内部以产生等离子体的阴极（18） 可以布置在等离子体排出口（70）和阴极（18）之间的辅助阳极（31），并且可以接收由阴极（18）产生的等离子体; 以及用于排出和密封容器（72）内部的排气阀（26）。 等离子体枪还设置有等离子体放电防止/许可装置（30），用于防止并允许从等离子体放电口（70）从阴极（18）放电产生的等离子体放电。
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公开(公告)号：WO2007066548A1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：PCT/JP2006/323760
申请日：2006-11-29
IPC: C23C14/34 , H01L21/285 , H05H1/48
CPC classification number: H01J37/3266 , C23C14/046 , C23C14/35 , H01J37/32009 , H01L21/2855 , H01L21/76877
Abstract: 本発明のシートプラズマ成膜装置（１００）は、ソースプラズマ（２２）を輸送方向に向けて放出可能なプラズマガン（４０）と、輸送方向に延びた輸送空間（２１）を有するシートプラズマ変形室（２０）と、互いに同極同士を向き合わせ、輸送空間（２１）を挟むように配置される第１の磁界発生手段の対（２４Ａ、２４Ｂ）と、輸送空間（２１）に連通した成膜空間（３１）を有する成膜室（３０）と、互いに異極同士を向き合わせ、成膜空間を挟むように配置される第２の磁界発生手段の対（３２、３３）と、を備え、ソースプラズマ（２２）は輸送空間（２１）を移動する間に第１の磁界発生手段の対（２４Ａ、２４Ｂ）の磁界により中心を含む主面Ｓに沿ってシート状に拡げ、シート状のプラズマ２７が成膜空間（３１）を移動する間に第２の磁界発生手段の対（３２、３３）の磁界により主面Ｓから凸状に偏倚する装置である。
Abstract translation: 片状等离子体成膜装置（100）包括用于沿输送方向发射源等离子体（22）的等离子体枪（40），具有沿着输送方向延伸的输送空间（21）的片状等离子体形状变化室 传送方向的第一对磁场产生装置（24A，24B），使得它们的相似磁极彼此相对并且在它们之间插入传送空间（21），成膜室（30）具有膜 形成空间（31），以及第二对磁场产生装置（32,33），使得它们的异极相互相对并且成膜空间介于它们之间 。 当等离子体（22）在输送空间（21）内运送时，沿包括中心的主表面（S）由第一对磁场产生装置（24A）产生的磁场扩展为片状 ，24B）。 当片状等离子体（27）在成膜空间（31）内移动时，由第二对磁场产生装置（32,32）产生的磁场将其从主表面（S）偏置成凸形， 33）。
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公开(公告)号：WO2013018258A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/JP2012/003337
申请日：2012-05-22
IPC: H01L21/3205 , H01L21/285 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC classification number: C23C28/02 , C23C14/046 , C23C14/14 , C23C14/165 , C23C14/34 , C23C14/3492 , C23C14/46 , H01J37/32055 , H01J37/32357 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01L21/2855 , H01L21/76873 , H01L21/76898 , H01L23/53238 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 成膜装置（１００）は、貫通孔が形成された基板（３４Ｂ）および銅放出源（３５Ｂ）を格納する真空チャンバ（３０）と、真空チャンバ（３０）内を所定の真空度に減圧する真空ポンプ（３６）と、基板（３４Ｂ）に印加する電力を発生する電源（８０）と、基板（３４Ｂ）および銅放出源（３５Ｂ）間の距離の設定に用いる駆動機構と、を備え、銅放出源（３５Ｂ）から放出された銅材料を基板（３４Ｂ）の一方の主面に堆積させ、主面における貫通孔の開口を銅材料からなる堆積膜によって閉塞させるとき、堆積膜による開口の閉塞状態が、上記距離および上記電力に基づいて調整される。
Abstract translation: 一种成膜装置（100）具有：容纳形成有通孔的基板（34B）的真空室（30B）和铜排出源（35B）; 真空泵（36），其将真空室（30）的内部减压到预定的真空度; 产生施加到基板（34B）的电力的电源（80）; 以及用于设定基板（34B）和铜排出源（35B）之间的距离的驱动机构。 在沉积时，在基板（34B）的一个主表面上形成从铜排出源（35B）排出的铜材料，并且利用沉积膜将主表面的通孔的开口闭合 铜材料，基于距离和功率调节具有沉积膜的开口的闭合状态。
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