公开(公告)号：WO2012174683A1

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：PCT/CN2011/001063

申请日：2011-06-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  朱菁 ,  黄惠杰 ,  曾爱军 ,  胡中华 ,  杨宝喜 ,  陈明

Inventor： 朱菁 ,  黄惠杰 ,  曾爱军 ,  胡中华 ,  杨宝喜 ,  陈明

IPC: G01M11/02 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10

CPC classification number: B23K26/705 ,  B23K26/066 ,  B23K26/707 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0052 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70591

Abstract: 提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置。该装置包括：可见激光器（201）；在可见激光器输出激光的方向同光轴地依次排列的扩束镜组（202）、分束镜（203）、第一远场成像透镜（206）、可调光阑（208）或CCD图像传感器（207-2）、第二远场成像透镜（209）、和第二能量传感器（210）。还提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测方法。该装置适用于任何紫外波段的光束整形元件的光学性能检测。该装置成本低、使用简便、和测量快速。