公开(公告)号：WO2013185264A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：PCT/CN2012/000990

申请日：2012-07-23

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  曾爱军 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

Inventor： 曾爱军 ,  刘龙海 ,  朱玲琳 ,  黄惠杰

IPC: G01M11/02 ,  G01J4/00

CPC classification number: G01N21/21 ,  G01J9/00 ,  G01J2004/005 ,  G01M11/02 ,  G01N21/23 ,  G01N2021/216

Abstract: 一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置，由准直光源（1）、圆起偏器（2）、衍射分束元件（4）、四分之一波片（5）、检偏器阵列（6）、CCD图像传感器（7）和具有图像采集卡的计算机（8）组成。还提供了一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量方法，其可以实时测量双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布，测量结果不受光源光强波动的影响，而且具有较大的测量范围。

公开(公告)号：WO2012174683A1

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：PCT/CN2011/001063

申请日：2011-06-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 ,  朱菁 ,  黄惠杰 ,  曾爱军 ,  胡中华 ,  杨宝喜 ,  陈明

Inventor： 朱菁 ,  黄惠杰 ,  曾爱军 ,  胡中华 ,  杨宝喜 ,  陈明

IPC: G01M11/02 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10

CPC classification number: B23K26/705 ,  B23K26/066 ,  B23K26/707 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0052 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70108 ,  G03F7/70591

Abstract: 提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置。该装置包括：可见激光器（201）；在可见激光器输出激光的方向同光轴地依次排列的扩束镜组（202）、分束镜（203）、第一远场成像透镜（206）、可调光阑（208）或CCD图像传感器（207-2）、第二远场成像透镜（209）、和第二能量传感器（210）。还提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测方法。该装置适用于任何紫外波段的光束整形元件的光学性能检测。该装置成本低、使用简便、和测量快速。