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公开(公告)号:WO2013013345A1
公开(公告)日:2013-01-31
申请号:PCT/CN2011/001272
申请日:2011-08-02
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司 , 陈建芳 , 程兆谷 , 程亚 , 黄惠杰 , 池峰
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02056 , G01B2290/70
摘要: 一种六轴4细分干涉仪,其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。六轴分光系统由5个45°平面分光镜(1,2,4,5,6)和4个45°全反镜(3,7,8,9)组成。提出的六轴4细分干涉仪具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致的优点。
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公开(公告)号:WO2012174683A1
公开(公告)日:2012-12-27
申请号:PCT/CN2011/001063
申请日:2011-06-28
CPC分类号: B23K26/705 , B23K26/066 , B23K26/707 , G02B19/0014 , G02B19/0052 , G02B19/0095 , G03F7/70108 , G03F7/70591
摘要: 提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置。该装置包括:可见激光器(201);在可见激光器输出激光的方向同光轴地依次排列的扩束镜组(202)、分束镜(203)、第一远场成像透镜(206)、可调光阑(208)或CCD图像传感器(207-2)、第二远场成像透镜(209)、和第二能量传感器(210)。还提供一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测方法。该装置适用于任何紫外波段的光束整形元件的光学性能检测。该装置成本低、使用简便、和测量快速。
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公开(公告)号:WO2013013346A1
公开(公告)日:2013-01-31
申请号:PCT/CN2011/001273
申请日:2011-08-02
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司 , 程兆谷 , 陈建芳 , 程亚 , 黄惠杰 , 池峰
IPC分类号: G01B9/02
CPC分类号: G01B9/02027 , G01B9/02007 , G01B9/02021 , G01B9/02056 , G01B2290/70
摘要: 一种四轴4细分干涉仪,其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块(1)和干涉模块。四轴分光模块(1)由3个50%平面分光镜(11,13,15)和3个45 。 平面反射镜(12,14,16)组成。干涉模块由偏振分光镜(2)、两个四分之一波片(3,4)、直角棱镜、测量反射镜(5)和参考反射镜(7)组成,或者干涉模块由偏振分光镜(2)、两个四分之一波片(3,4)、直角棱镜、测量反射镜(5)、可调45°全反镜(6)和参考反射镜(7)组成,其中,可调45°全反镜(6)将参考光引导到与测量反射镜(5)同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜(7)。提出的四轴4细分干涉仪具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。
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公开(公告)号:WO2008110044A1
公开(公告)日:2008-09-18
申请号:PCT/CN2007/001344
申请日:2007-04-23
申请人: 中国人民解放军军事医学科学院微生物流行病研究所 , 周蕾 , 杜宗敏 , 杨瑞馥 , 黄惠杰
IPC分类号: G01N33/558 , G01N33/543 , G01N33/52 , B01L3/00
CPC分类号: G01N33/558 , B01L3/5023 , B01L3/5025 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0819 , B01L2300/0825 , B01L2300/0864 , B01L2300/0867 , G01N30/92
摘要: An immune chromatographic strip disc for multiple analysis comprises: a base of disc, a lid engaged to the base, and a drainage plate disposed between test strips on the base and the lid of disc. An application opening is formed in the lid of strip disc, is opposite to the drainage plate, and communicates with a drainage groove formed by a plurality of drainage channels placed on underside of the lid. Supports of test strips are positioned on the base corresponding to the position and number of the plurality of drainage channels on lid. The edge of the drainage plate overlaps the sample pad of the test strip adjacent to the application opening, wherein the test strip is placed on the support of test strip. The present invention also provides a multiple immune chromatographic method by using the strip disc, through which multiple analytes in a sample can be detected simultaneously in an assay.
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公开(公告)号:WO2013185264A1
公开(公告)日:2013-12-19
申请号:PCT/CN2012/000990
申请日:2012-07-23
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 曾爱军 , 刘龙海 , 朱玲琳 , 黄惠杰
CPC分类号: G01N21/21 , G01J9/00 , G01J2004/005 , G01M11/02 , G01N21/23 , G01N2021/216
摘要: 一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置,由准直光源(1)、圆起偏器(2)、衍射分束元件(4)、四分之一波片(5)、检偏器阵列(6)、CCD图像传感器(7)和具有图像采集卡的计算机(8)组成。还提供了一种用于双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量方法,其可以实时测量双折射器件的相位延迟量分布和快轴方位角分布,测量结果不受光源光强波动的影响,而且具有较大的测量范围。
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