四轴4细分干涉仪
    3.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2013013346A1

    公开(公告)日:2013-01-31

    申请号:PCT/CN2011/001273

    申请日:2011-08-02

    IPC分类号: G01B9/02

    摘要: 一种四轴4细分干涉仪,其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次排列的四轴分光模块(1)和干涉模块。四轴分光模块(1)由3个50%平面分光镜(11,13,15)和3个45 。 平面反射镜(12,14,16)组成。干涉模块由偏振分光镜(2)、两个四分之一波片(3,4)、直角棱镜、测量反射镜(5)和参考反射镜(7)组成,或者干涉模块由偏振分光镜(2)、两个四分之一波片(3,4)、直角棱镜、测量反射镜(5)、可调45°全反镜(6)和参考反射镜(7)组成,其中,可调45°全反镜(6)将参考光引导到与测量反射镜(5)同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜(7)。提出的四轴4细分干涉仪具有元件易加工、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和光学效率高的优点。