公开(公告)号：WO2014023002A1

公开(公告)日：2014-02-13

申请号：PCT/CN2012/079881

申请日：2012-08-09

Applicant: 浙江盾安人工环境股份有限公司 ,  清华大学 ,  邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅 ,  张胜昌 ,  江挺侯

Inventor： 邓宁 ,  王喆垚 ,  陈培毅 ,  张胜昌 ,  江挺侯

IPC: F16K31/00 ,  F16K31/02

CPC classification number: F16K99/0034 ,  F16K99/0042 ,  F16K2099/009

Abstract: 一种微阀装置及控制流体流动的方法。微阀装置包括：微阀本体，该微阀本体由多层构成，并且包括第一层（1）以及与第一层（1）结合的第二层（2），第二层（2）具有多个流体端口（7，8，9）；腔体（6），设置在第一层和第二层之间；多个执行器（3，4，5），分别对应每个流体端口设置，其中多个流体端口（7，8，9）的开闭由多个执行器独立地（3，4，5）控制。控制流体流动的方法包括采用多个执行器分别对多个流体端口的开闭独立地控制。