公开(公告)号：WO2012165536A1

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：PCT/JP2012/064054

申请日：2012-05-31

Applicant: 独立行政法人科学技術振興機構 ,  ハオ シュウシュン ,  蒋 永剛 ,  藤田 孝之 ,  樋口 行平 ,  前中 一介 ,  高尾 英邦

Inventor： ハオ　シュウシュン ,  蒋　永剛 ,  藤田　孝之 ,  樋口　行平 ,  前中　一介 ,  高尾　英邦

IPC: G01L19/04 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/125 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0073 ,  G01L19/04

Abstract: 【課題】キャビティー内の気体の温度による圧力変化（キャビティー内に封止されている気体の熱膨張）に起因したダイアフラムの変形を相殺し、対象とする温度範囲でダイアフラムの変形を抑制することにより、最適な温度補償を行うことのできる、センサにおける温度補償方法、該温度補償方法の演算プログラム、該演算プログラムを演算処理する演算処理装置、及び、センサを得る。 【解決手段】本発明の静電容量型センサにおける温度補償方法は、静電容量の変化量ΔＣ'を求める演算工程Ｓ１７を含む各演算工程を実行することによって、密閉空間内の気体の温度による圧力変化（密閉空間内に封止されている気体の熱膨張）に起因したダイアフラム部の変形の補償程度を判断可能なパラメータΔＣ'を得る。

Abstract translation: 本发明提供一种传感器中的温度补偿方法，温度补偿方法的计算程序，计算处理计算程序的计算处理装置以及由压力变化引起的隔膜变形的传感器 （由于空腔内的气体的温度而导致的密封在空腔中的气体的热膨胀）被抵消，并且膜片的变形在目标温度范围内最小化，从而能够进行最佳的温度补偿。 [解决方案]电容型传感器中的温度补偿方法包括执行包括计算步骤（S17）的计算步骤，该计算步骤（S17）获取电容中的变化量ΔC'，从而获得参数αC'，通过该参数 可以确定由于密封空间中的气体的温度而由压力变化（密封在密封空间中的气体的热膨胀）导致的膜片部分中的变形的补偿程度。

公开(公告)号：WO2007083546A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：PCT/JP2007/050162

申请日：2007-01-10

Applicant: 国立大学法人豊橋技術科学大学 ,  石田 誠 ,  高尾 英邦

Inventor： 石田 誠 ,  高尾 英邦

IPC: G01N3/40 ,  G01L1/02

CPC classification number: G01N3/40 ,  G01N2203/0676

Abstract: 　測定対象物の固さを精度良く検出する。 　センサ本体４は空気圧源６と空気管路８を介して接続されており、空気管路８には空気圧調整手段１０が設けられる。空気圧調整手段１０によりセンサ本体４のダイヤフラム２６に設けられた半導体歪検出素子１２は、測定対象物３６の固さに応じた電圧を出力する。信号処理回路１４は、出力値より測定対象物３６の固さに関連する値を抽出し、出力する。

Abstract translation: 一种准确测量物体硬度的触觉传感器装置。 传感器体（4）通过空气管线（8）连接到空气压力源（6）。 气压调节装置（10）设置在空气管路（8）中。 设置在传感器主体（4）的隔膜（26）处的半导体应变检测元件（12）通过空气压力调节装置（10）的操作输出与物体（36）的硬度相对应的电压。 信号处理电路（14）根据输出值提取与物体（36）的硬度有关的值，并输出结果。