公开(公告)号：WO2016161067A1

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：PCT/US2016/025171

申请日：2016-03-31

申请人： THE RESEARCH FOUNDATION FOR THE STATE UNIVERSITY OF NEW YORK ,  CENTRAL GLASS COMPANY, LTD.

发明人： BRAINARD, Robert L. ,  EARLEY, William G. ,  CARDINEAU, Brian ,  AOKI, Takashi

IPC分类号： C07C69/025 ,  C08F20/18 ,  C08F12/08 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC分类号： C07C69/54 ,  C07C69/63 ,  C07C69/78 ,  C07C69/96 ,  C07C271/28 ,  C07C2601/02 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/10 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  C07D319/06 ,  C07D319/08 ,  C08F12/24 ,  C08F212/14 ,  C09D125/14 ,  C09D125/18 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  C08F212/08 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/282

摘要： There are disclosed compositions requiring two acid-catalyzed steps for deprotection. The compositions are of formula I or formula II. Also disclosed are polymers formed from these compositions, and methods of using these compositions in, for example,photolithography.

摘要翻译： 公开了需要两个酸催化步骤进行去保护的组合物。 组合物具有式I或式II。 还公开了由这些组合物形成的聚合物，以及在例如光刻法中使用这些组合物的方法。