公开(公告)号：WO2010115542A1

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：PCT/EP2010/001985

申请日：2010-03-29

Applicant: CENTROTHERM SITEC GMBH ,  STUBHAN, Frank ,  LECK, Michael

Inventor： STUBHAN, Frank ,  LECK, Michael

IPC: C01B33/02

CPC classification number: C01B33/035 ,  C23C16/24 ,  C30B13/285

Abstract: A clamping and contacting device for mounting and electrically contacting thin silicon rods in silicon deposition reactors is disclosed, the clamping and contacting device having a rod holder for receiving one end of a thin silicon rod. The rod holder comprises at least three contact elements disposed around a receiving space for the thin silicon rod. Each of the contact elements forms a contact surface facing towards a receiving space for electrically and mechanically contacts the thin silicon rod, wherein the contact surfaces of adjacent contact elements are spaced apart.

Abstract translation: 公开了一种用于在硅沉积反应器中安装和电接触薄硅棒的夹紧和接触装置，夹紧和接触装置具有用于容纳薄硅棒的一端的杆保持器。 棒保持器包括围绕用于薄硅棒的容纳空间设置的至少三个接触元件。 每个接触元件形成面向容纳空间的接触表面，用于电和机械地接触薄硅棒，其中相邻接触元件的接触表面间隔开。

公开(公告)号：WO1992018842A1

公开(公告)日：1992-10-29

申请号：PCT/GB1992000700

申请日：1992-04-16

Applicant: BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD. ,  LECK, Michael, John

Inventor： BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD.

IPC: G01N15/06

CPC classification number: G01N15/0612 ,  G01N15/0618 ,  G01N15/0625 ,  G01N2015/0049

Abstract: Apparatus for measuring the quantity of fibres present in a gaseous fluid includes a pair of sloping shield electrodes (21) to shield charged fibres from the influence of a precipitating field other than in the region adjacent an optical detector (26).

公开(公告)号：WO2011116990A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：PCT/EP2011/001552

申请日：2011-03-28

Applicant: CENTROTHERM SITEC GMBH ,  HAAGA, Jürgen ,  LECK, Michael

Inventor： HAAGA, Jürgen ,  LECK, Michael

IPC: C23C16/24 ,  C23C16/458 ,  C23C16/509 ,  C01B33/035 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C16/24 ,  C01B33/035 ,  C23C16/458 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32 ,  H01J37/3255

Abstract: An electrode arrangement for use in a CVD-reactor/converter and CVD-reactors/converters are described. The electrode arrangement has a shaft portion of an electrically conducting material, a head portion of an electrically conducting material, which is connected to the shaft portion in an electrically conducting manner, which head portion has a seal surface axially facing towards the shaft portion and a biasing unit. The biasing unit has at least one elastic element and an adjustment unit which may be coupled to the shaft portion, wherein the adjustment unit comprises adjustment means which are capable of compressing the elastic element between two counter surfaces, such that a restoring force of the elastic element acts in an axial direction of the shaft portion, in order to bias the axially facing seal surface at the head portion against a counter seal surface. The CVD-reactor/converter has a process chamber defining a process space, the process chamber comprising at least one through opening in its floor in which an electrode arrangement is received, such that the head portion is at least partially received in the process space, and the shaft portion is at least partially received in the through opening and is arranged outside the process space. The electrode arrangement may be of the above described type or of the type having a shaft portion of a first, electrically conducting material and a head portion of a second, electrically conducting material, wherein the head portion is completely made from the second electrically conducting material, which differs from the first material and which does not negatively influence the process within the CVD-reactor/converter, and wherein the head portion is removably attached in an electrically conducting manner on a first end of the shaft portion.

Abstract translation: 描述了用于CVD反应器/转换器和CVD反应器/转换器的电极装置。 电极装置具有导电材料的轴部分，导电材料的头部，其以导电方式连接到轴部分，该头部具有轴向面向轴部的密封表面和 偏置单元。 偏置单元具有至少一个弹性元件和可联接到轴部分的调节单元，其中调节单元包括能够在两个相对表面之间压缩弹性元件的调节装置，使得弹性元件的恢复力 元件作用在轴部分的轴向方向上，以便将头部上的轴向面对的密封表面偏压抵靠对置密封表面。 CVD反应器/转换器具有限定处理空间的处理室，处理室包括其底部中的至少一个通孔，其中容纳电极装置，使得头部至少部分地被接收在处理空间中， 并且所述轴部至少部分地被容纳在所述通孔中并且布置在所述处理空间的外部。 电极布置可以是上述类型或具有第一导电材料的轴部分和第二导电材料的头部的类型，其中头部完全由第二导电材料制成 ，其与第一材料不同，并且不会对CVD反应器/转换器内的工艺产生负面影响，并且其中头部部分以导电的方式可拆卸地附接在轴部分的第一端上。

公开(公告)号：WO2009074546A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：PCT/EP2008/067058

申请日：2008-12-09

Applicant: CONSTRUCTION RESEARCH & TECHNOLOGY GMBH ,  MACK, Helmut ,  AUSTERMANN, Tobias ,  EBNER, Martin ,  LECK, Michael

Inventor： MACK, Helmut ,  AUSTERMANN, Tobias ,  EBNER, Martin ,  LECK, Michael

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2245/125

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Behandlung von Oberflächen mit einem bei Atmosphärendruck erzeugten Plasma. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist als tragbares Handgerät ausgebildet und umfasst einePlasmadüse (16) zur Erzeugung eines Plasmastrahls (18), die eine Düsenöffnung (17) und wenigstens ein stromaufwärts von der Düsenöffnung angeordnetes Elektroden-und Gegenelektroden-Paar (27,28) umfasst, deren wirksame Elektrodenoberflächen jeweils eine dielektrische Beschichtung (29,30) aufweisen, wobei die Elektrode (27) und die Gegenelektrode (28) zwischen sich einen Arbeitsraum (34) definieren, in welchem ein Arbeitsgas mittels dielektrisch behinderter Gasentladung wenigstens teilweise ionisiert werden kann, einen Hochspannungsgenerator (19,20), der mit dem Elektroden-und Gegenelektrodenpaar (27,28) elektrisch verbunden ist, ein Fördermittel (15), welches einen Gasfluss des Arbeitsgases von einer Arbeitsgasquelle in den Arbeitsraum (34) und durch die Düsenöffnung (17) erzeugt, wobei die Arbeitsgasquelle die Umgebungsluft ist, undeine netzunabhängige Energiequelle (12) zur Versorgung des Hochspannungsgenerators (19,20) und des Fördermittels (19).

Abstract translation: 本发明涉及一种装置和用于与在大气压下的等离子体所产生的表面的处理的方法。 本发明的装置被设计为便携式手持设备，并包括einePlasmadüse（16），用于产生等离子束（18），其包括喷嘴开口（17）和至少一个从喷嘴开口电极和反电极对（27,28）的上游，其 有效电极表面各自具有电介质涂层（29,30），其特征在于，在它们之间限定的电极（27）和对置电极（28），其中，工作气体可以至少部分地由介电阻挡气体放电来离子化的工作空间（34），一个高电压发生器 （19,20），其电连接到所述电极和反电极对（27,28），输送装置（15），其生成工作气体源的工作气体的气体流动到工作空间（34）和通过所述喷嘴孔（17） 其中，所述工作气体源是环境空气，和一个栅极用电源（12），用于Versorgun 克高电压发生器（19,20）和输送机（19）的。