公开(公告)号：WO03031319A3

公开(公告)日：2003-10-09

申请号：PCT/DE0203317

申请日：2002-09-06

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  MAX PLANCK GESELLSCHAFT ,  FISCHER FRANK ,  RUMP ARNOLD

Inventor： FISCHER FRANK ,  RUMP ARNOLD

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81C2201/016

Abstract: The invention concerns micromechanical components (4'; 40) with reduced static friction having in general a size less than 1 mm, devices comprising said components, the manufacture and use of said components, as well as a method for treating the surfaces of micromechanical components (4'; 40). Said method consists in modifying by a surface treatment faulty electronic regions of the semiconductor material used. The inventive components are used for example in acceleration sensors.

Abstract translation: 有adhäsionsverminderte微机械部件（4“; 40）的尺寸通常小于1的Mn，容纳装置，制备和使用这些组件的以及用于治疗微机械装置的表面的方法这样的装置（4”; 40） 提供，其中该方法包括所使用的半导体材料的电子杂质可以通过表面处理来改变的步骤。 这种装置的使用，例如，在加速度传感器。

公开(公告)号：WO2009036972A2

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：PCT/EP2008007790

申请日：2008-09-18

Applicant: BROSE FAHRZEUGTEILE ,  KASPER KONRAD ,  SEMINETH MARCO ,  WUERSTLEIN HOLGER ,  WEINGAERTNER THOMAS ,  OLIVER KRAMPITZ ,  RUMP ARNOLD ,  MUCK JUERGEN

Inventor： KASPER KONRAD ,  SEMINETH MARCO ,  WUERSTLEIN HOLGER ,  WEINGAERTNER THOMAS ,  OLIVER KRAMPITZ ,  RUMP ARNOLD ,  MUCK JUERGEN

IPC: G01D5/14 ,  G01D5/244

CPC classification number: G01D5/2451

Abstract: The invention relates to a device (1) for detecting a rotation variable (?+,?.,?) of a rotating central element (2), comprising a control unit (3) and a Hall sensor (4) having a first Hall sensor plate (H1), a second Hall sensor plate (H2), and an oscillator (6) for generating a sensor output signal (SH), wherein an upper Hall sensor threshold (Fsup) and a lower Hall sensor threshold (Finf) are predefined for the Hall voltage (UH), and wherein as a function of exceeding the upper hall voltage threshold (Fsup) or dropping below the lower hall voltage threshold (Finf) due to a first Hall voltage (UH,1) created in the first Hall sensor plate (H1), or due to a second Hall voltage (UH,2) created in the second Hall sensor plate (H2), and as a function of the rotation direction (?+,?.) of the rotating central element (2) that can be identified by the phase shift (f) between the first hall voltage (UH,1 ) and the second hall voltage (UH,2), a defined pulse width (?) is associated with the sensor output signal (SH). For evaluating the sensor output signal (SH), the oscillator-dependent deviation (??) of the pulse width (?) of the generated sensor output signal (SH) from a nominal pulse width (?o) predetermined for the oscillator (6) is initially detected, wherein a calibration function (f) for the sensor signal is determined from the extent of the deviation (??), and wherein the stored calibration function (f) is applied to the current sensor output signal (SH).

Abstract translation: （?? +，。，？）有一个装置（1），用于检测给定的旋转中心元件（2）的旋转量，与控制单元（3），并与霍尔传感器（4），包括第一霍尔传感器板（H1）， 第二霍尔传感器板（H2）和用于产生传感器输出信号（SH），其中，顶霍尔电压阈值（F SUP）和霍尔电压低的霍尔电压阈值（FINF）（UH）给出，且其中的一个振荡器（6）响应于的超出 顶部霍尔电压阈值（F SUP），或从下面由第一霍尔传感器板（H1）的第一霍尔电压（UH，1）或由第二霍尔传感器板（H2）的第二霍尔电压产生（UH，2）和所产生的低霍尔电压阈值（FINF） 由（F）第一霍尔电压之间的旋转中心元素的相移（UH，1）和第二霍尔电压（UH，2）识别的旋转方向（？，？+）的2的依赖性（ ）传感器输出信号（SH）被分配一个确定的脉冲宽度（？）。 用于评估传感器输出信号（SH）从振荡器是脉冲宽度（？）所产生的传感器输出信号（SH）中的振荡器依赖性偏差（σζ）（6）检测到的初始预定标称脉冲宽度（→O），其中，（从偏差的量度 ）确定传感器信号的校准函数（f），并且其中存储的校准函数（f）被应用于电流传感器输出信号（SH）。

公开(公告)号：WO2009036972A3

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：PCT/EP2008/007790

申请日：2008-09-18

Applicant: BROSE FAHRZEUGTEILE GMBH & CO. KOMMANDITGESELLSCHAFT, HALLSTADT ,  KASPER, Konrad ,  SEMINETH, Marco ,  WÜRSTLEIN, Holger ,  WEINGÄRTNER, Thomas ,  OLIVER, Krampitz ,  RUMP, Arnold ,  MUCK, Jürgen

Inventor： KASPER, Konrad ,  SEMINETH, Marco ,  WÜRSTLEIN, Holger ,  WEINGÄRTNER, Thomas ,  OLIVER, Krampitz ,  RUMP, Arnold ,  MUCK, Jürgen

IPC: G01D5/249

Abstract: Es wird eine Vorrichtung (1) zur Erfassung einer Rotationsgröße (Δ + ,Δ.,ω) eines rotierenden Zentralelementes (2) angegeben, mit einer Steuereinheit (3) und mit einem Hallsensor (4), umfassend eine erste Hallsensorplatte (H 1 ), eine zweite Hallsensorplatte (H 2 ) und einen Oszillator (6) zur Generation eines Sensorausgangssignals (S H ), wobei eine obere Hallspannungsschwelle (Φ sup ) und eine untere Hallspannungsschwelle (Φ inf ) für die Hallspannung (U H ) vorgegeben ist, und wobei in Abhängigkeit vom Überschreiten der oberen Hallspannungsschwelle (Φ sup ) oder vom Unterschreiten der unteren Hallspannungsschwelle (Φ inf ) durch eine in der ersten Hallsensorplatte (H 1 ) erzeugte erste Hallspannung (U H,1 ) oder durch eine in der zweiten Hallsensorplatte (H 2 ) erzeugte zweite Hallspannung (U H,2 ) und in Abhängigkeit der durch die Phasenverschiebung (φ) zwischen der ersten Hallspannung (U H,1 ) und der zweiten Hallspannung (U H,2 ) identifizierbaren Drehrichtung (Δ + ,Δ.) des rotierenden Zentralelementes (2) dem Sensorausgangssignal (S H ) eine definierte Pulsweite (λ) zugeordnet ist. Zur Auswertung des Sensorausgangssignals (S H ) wird die oszillatorabhängige Abweichung (Δλ) der Pulsweite (λ) des generierten Sensorausgangssignals (S H ) von einer dem Oszillator (6) vorgegebenen nominellen Pulsweite (λ o ) initial erfasst, wobei aus dem Maß der Abweichung (Δλ) eine Eichfunktion (f) für das Sensorsignal ermittelt wird, und wobei die hinterlegte Eichfunktion (f) auf das aktuelle Sensorausgangssignal ( SH ) angewandt wird.

公开(公告)号：WO2003031319A2

公开(公告)日：2003-04-17

申请号：PCT/DE2002/003317

申请日：2002-09-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN ,  FISCHER, Frank ,  RUMP, Arnold

Inventor： FISCHER, Frank ,  RUMP, Arnold

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81C2201/016

Abstract: Es werden adhäsionsverminderte mikromechanische Bauelemente (4';40) rnit einer Größe von in der Regel weniger als 1 mn, derartige Bauelemente enthaltende Einrichtungen, die Herstellung und Verwendung dieser Bauelemente sowie ein Verfahren zur Behandlung der Oberflächen von mikromechanischen Bauelementen(4';40) bereitgestellt, wobei das Verfahren den Schritt umfasst, dass die elektronischen Störstellen des verwendeten Halbleitermaterials im Wege einer Oberflächenbehandlung verändert werden. Derartige Bauelemente werden beispielsweise in Beschleunigungssensoren verwendet.

Abstract translation:

是ADH＆AUML;锡永降低微机械部件（4“; 40）与GR＆OUML;通常小于1万的道，容纳装置，制备和使用这些成分的，以及一个这样的装置 用于治疗的微型机械装置的表面BEAR表面处理（4“; 40）提供，该方法包括使电子圣＆ouml步骤;穿心莲中使用的半导体材料，通过表面BEAR chenbehandlung版本BEAR的方式来改变。 这些组件用于例如加速度传感器。