公开(公告)号：WO2011050873A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：PCT/EP2010/004980

申请日：2010-08-13

Applicant: SCHOTT AG ,  ORTNER, Andreas ,  GERSTNER, Klaus ,  VON CAMPE, Hilmar ,  STELZL, Michael

Inventor： ORTNER, Andreas ,  GERSTNER, Klaus ,  VON CAMPE, Hilmar ,  STELZL, Michael

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/9505

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Detektion von Rissen in flächigen Halbleitersubstraten mit zwei gegenüberliegenden Seitenflächen (30,31) und einer umlaufenden Kantenfläche, wie etwa Siliziumwaf ern und Solarzellen. Das Verfahren und die Vorrichtung basieren auf der Erfassung von an einem Riss (34) abgelenktem Licht, das in die Kantenfläche des Halbleitersubstrats (3) eingeleitet wird und an einer der Seitenflächen am Rissort austritt.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测在区域的半导体衬底的裂缝具有两个相对的侧面（30,31）和周缘表面，如Siliziumwaf仁和太阳能电池的方法和装置。 该方法和装置是基于该检测的裂纹（34）的偏转的光，其被导入到半导体衬底（3）和出口的边缘表面在上Rissort侧表面中的一个。

公开(公告)号：WO2005114290A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：PCT/EP2005/005281

申请日：2005-05-13

Applicant: SCHOTT AG ,  STELZL, Michael ,  SEIDEMANN, Volker ,  LEIB, Jürgen ,  NGO, Ha-Duong

Inventor： STELZL, Michael ,  SEIDEMANN, Volker ,  LEIB, Jürgen ,  NGO, Ha-Duong

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0076 ,  G01B11/0608

Abstract: Um Topographien auf Wafern oder Bauelementen zerstörungsfrei vermessen zu können, sieht die Erfindung ein Verfahren zur Vermessung dreidimensionaler topographischer Strukturen (22) auf Wafern (2) oder Bauelementen vor, bei welchem mit einem konfokalen Mikroskop (1) zumindest eine fluoreszierende topographische Struktur (22) mit Anregungslicht abgetastet und das aus dem Brennpunkt (17) in der Brennebene (19) des Objektivs (15) emittierte, durch das Anregungslicht angeregte Fluoreszenzlicht detektiert wird und Messdaten aus der Lage des Brennpunkts (17) und dem detektierten Fluoreszenzsignal gewonnen werden.

Abstract translation: 为了能够测量在晶片上或组分，非破坏性的形貌，本发明提供了（2）上的晶片或部件用共聚焦显微镜之前测量三维地形结构（22），其特征在于，（1）至少一种荧光地形结构的方法（22） 用激发光并从在所述透镜（15）的焦平面（19）发射的焦点（17）扫描时，激发荧光的光被从所述焦点（17），并且可以得到的检测到的荧光信号的位置处的激发光并测定数据检测。

公开(公告)号：WO2013041216A1

公开(公告)日：2013-03-28

申请号：PCT/EP2012/003901

申请日：2012-09-19

Applicant: SCHOTT AG ,  STELZL, Michael ,  ORTNER, Andreas

Inventor： STELZL, Michael ,  ORTNER, Andreas

IPC: G01N21/89

CPC classification number: G01N21/8901 ,  G01N21/896 ,  G01N21/9501

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung (10) für die optische Prüfung eines Objekts (18), mit folgenden Merkmalen: • - die Beleuchtungsvorrichtung umfasst eine Mehrzahl von Beleuchtungselementen (21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28); • - mittels eines Beleuchtungselements wird Licht auf zumindest einen Teil des Objekts gerichtet, so dass von dem Objekt gestreutes oder transmittiertes oder reflektiertes Licht von einem Detektor (14) erfassbar ist; • - die Funktion eines Beleuchtungselements ist durch eine Farbe und mehrere Strahlungsmodi der von dem Beleuchtungselement ausgestrahlten Strahlung charakterisiert; • - die Beleuchtungselemente unterscheiden sich jeweils voneinander durch die Farbe und mindestens einen der Strahlungsmodi; • - eine Steuerungselektronik steuert die Beleuchtungsvorrichtung sowie den Detektor so dass ein Bild des Objektes oder eines Teilbereiches des Objektes durch Zusammenfügen von Einzelbildern bei unterschiedlicher Beleuchtung erzeugt werden kann.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于对象（18）的光学检查的照明装置（10），其具有以下特征： - 所述照明设备包括多个照明元件（21，22，23，24，25，26，27，28）的; ， - 光被引导到至少一个由从所述物体散射或透射或反射由检测器（14）的光的照明元件，例如手段的对象的部分可以被检测到; ， - 照明元件的功能的特征在于颜色和多个的来自照明元件辐射照射辐射模式; ， - 照明元件由颜色和至少辐射模式中的一个彼此不同; ， - 一个电子控制单元控制所述照明装置和所述检测器，以使对象或由单独的图像的接合对象的部分区域的图像可以与不同的照明来生成。