公开(公告)号：WO2012071296A3

公开(公告)日：2012-09-27

申请号：PCT/US2011061588

申请日：2011-11-21

申请人： UNIV DELAWARE ,  TIAN FANGYUAN ,  TABER DOUGLASS F ,  TEPLYAKOV ANDREW V

发明人： TIAN FANGYUAN ,  TABER DOUGLASS F ,  TEPLYAKOV ANDREW V

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/306

CPC分类号： C01B33/00 ,  B05D1/36 ,  B05D3/10 ,  H01L21/306

摘要： A uniform Si-NH-Si terminated Si(111) surface is formed by contacting a chlorine-terminated silicon surface with ammonia and a solvent such as an ether.

摘要翻译： 通过使氯封端的硅表面与氨和溶剂如醚接触来形成均匀的Si-NH-Si端Si（111）表面。

公开(公告)号：WO2012071296A2

公开(公告)日：2012-05-31

申请号：PCT/US2011/061588

申请日：2011-11-21

申请人： UNIVERSITY OF DELAWARE ,  TIAN, Fangyuan ,  TABER, Douglass, F. ,  TEPLYAKOV, Andrew, V.

发明人： TIAN, Fangyuan ,  TABER, Douglass, F. ,  TEPLYAKOV, Andrew, V.

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/306

CPC分类号： C01B33/00 ,  B05D1/36 ,  B05D3/10 ,  H01L21/306

摘要： A uniform Si-NH-Si terminated Si(111) surface is formed by contacting a chlorine-terminated silicon surface with ammonia and a solvent such as an ether.

摘要翻译： 通过使氯封端的硅表面与氨和溶剂如醚接触来形成均匀的Si-NH-Si封端的Si（111）表面。