公开(公告)号：WO2011003685A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：PCT/EP2010/057956

申请日：2010-06-08

Applicant: O-FLEXX TECHNOLOGIES GMBH ,  TEUNISSEN, Ralph ,  ULLAND, Holger, Albert

Inventor： TEUNISSEN, Ralph ,  ULLAND, Holger, Albert

IPC: H01L35/32 ,  H01L35/34

CPC classification number: H01L35/32 ,  H01L35/34 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2924/00014

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Modul umfassend mehrere elektrisch in Serie geschaltete thermoelektrische Elemente, die jeweils aus mindestens einer n-Schicht und mindestens einer p-Schicht aus thermoelektrischem Material unter Ausbildung wenigstens eines sich entlang einer Grenzschicht ausbildenden pn- Übergangs bestehen, wobei ein Temperaturgradient parallel zur Grenzschicht zwischen einer heissen und einer kalten Seite jedes thermoelektrischen Elementes anlegbar bzw. abgreifbar ist. Um ein produktionstechnisch vorteilhaftes Modul vorzuschlagen, bei dem die Widerstände der elektrischen Kontaktierung der einzelnen thermoelektrischen Elemente reduziert und deren thermische Anbindung an eine Wärmesenke bzw. Wärmequelle zur Erzeugung eines Temperaturgradienten entlang der Grenzschicht verbessert wird, wird vorgeschlagen, das Substrat und die thermoelektrischen Elemente in separaten Prozessen herzustellen und die thermoelektrischen Elemente auf zuvor strukturierten, thermisch und elektrisch leitenden Bereichen des Substrats mit unterschiedlichen Klebstoffen für die kalte und heisse Seite jedes thermoelektrischen Elementes aufzukleben.

Abstract translation: 本发明涉及一种模块，其包括多个电串联连接的热电元件，每个由至少一个n层和由热电材料制成，以形成沿着PN结的边界层的形成的至少一个的至少一个p层，其特征在于，平行于所述的温度梯度 一个热和各热电元件的冷侧之间边界层可被放置或拾起。 为了提出一种生产工业上有利的模块，其中各个热电元件的电接触的电阻减小，并且到散热器或用于产生穿过边界层的温度梯度热源其热连接性提高，所以建议在基板与在单独的热电元件 制造工艺和胶水上预先形成图案的热电元件，以及每个热电元件的冷侧和热侧不同的粘合剂衬底的导热和导电区域。

公开(公告)号：WO2011000676A1

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：PCT/EP2010/058142

申请日：2010-06-10

Applicant: O-FLEXX TECHNOLOGIES GMBH ,  TEUNISSEN, Ralph ,  SPAN, Gerhard

Inventor： TEUNISSEN, Ralph ,  SPAN, Gerhard

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  H01L35/16 ,  H01L35/22

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/0682 ,  H01J37/3426 ,  H01L35/16 ,  H01L35/22 ,  H01L35/34

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von thermoelektrischen Schichten durch Abscheiden von thermoelektrischem Material auf einem Substrat im Wege der Sputterdeposition. Um ein Verfahren zur Herstellung thermoelektrischer Schichten zu schaffen, die für den Einsatz in Thermogeneratoren besser geeignet sind, insbesondere höhere Seebeck-Koeffizienten aufweisen, wird die Herstellung eines Targets aus thermoelektrischem Material durch Vermischen von mindestens zwei pulverförmigen Ausgangsmaterialien in einer Partikelgröße von 0,01 μm - 5000 μm unter Energieeinkopplung sowie das Abscheiden des thermoelektrischen Materials aus dem Target auf dem Substrat im Wege der Magnetron-Sputterdeposition vorgeschlagen.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于由热电材料的沉积通过溅射沉积的方式在基底上产生的热电层的方法。 用于制造热电层，其更适合于在具有较高尤其塞贝克系数热电发电机使用提供一种方法，通过在0.01微米的颗粒尺寸的混合至少两种粉末的起始原料生产热电材料的目标是 - 下的能量输入和来自目标的热电材料的磁控溅射沉积来沉积到基片提出的5000微米。