公开(公告)号：WO2017047845A1

公开(公告)日：2017-03-23

申请号：PCT/KR2015/009812

申请日：2015-09-18

Applicant: (주)솔라세라믹

Inventor： 류도형 ,  주한용 ,  박성환 ,  김병종 ,  김보민 ,  진은주

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  B05B13/00

CPC classification number: B05B13/00 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44

Abstract: 본 발명은 스프레이 열 분해법에 의한 박막 형성을 위한 노즐 유닛, 이를 포함하는 박막 형성 장치 및 박막 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은, 각각 액적 생성실에 연결된 입력 단부 및 반응 챔버 측의 출력 단부를 가지고, 온도 및 유속 중 적어도 어느 하나에 대하여 독립적으로 제어가 가능한 복수의 전달 유로들; 및 상기 전달 유로들의 각 출력 단부를 가로 질러 지나는 개구를 갖는 공통 슬릿을 포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过喷雾热解法形成薄膜的喷嘴单元，一种用于形成包含该薄膜的薄膜的设备以及一种形成薄膜的方法。 根据本发明的实施例的喷嘴单元包括：多个传送流路，其具有连接到液滴发生器的输入端和反应室侧的输出端，并且可以独立地控制至少一个 温度和流速; 以及具有穿过传送流路的各个输出端的开口的公共狭缝。

公开(公告)号：WO2016028012A1

公开(公告)日：2016-02-25

申请号：PCT/KR2015/008115

申请日：2015-08-04

Applicant: (주)솔라세라믹

Inventor： 류도형 ,  박성환 ,  김병종 ,  김보민 ,  진은주

IPC: C23C16/448

CPC classification number: C23C16/448

Abstract: 본 발명은 박막 형성을 위한 전구체 공급 장치, 이를 포함하는 박막 형성 장치, 및 이를 이용하는 박막 형성 방법에 관한 것이다.　 본 발명의 일 실시예에 따른 전구체 공급 장치는, 액상 원료를 저장하는 원료 저장부; 상기 원료 저장부에 결합되어, 액적 형태로 상기 액상 원료를 토출하는 액적 공급부; 및 기화 공간을 한정하는 챔버 월; 상기 챔버 월의 제 1 측부에 형성되고, 상기 액적 공급부로부터 상기 기화 공간으로 액적들이 통과하는 액적 인렛(inlet); 상기 기화 공간에 결합되어 상기 기화 공간 내의 상기 액적들을 기화시켜, 상기 기화 공간 내에 기상 전구체를 형성하는 가열부; 상기 기화 공간 내부로 운반 가스를 인입하기 위해 상기 챔버 월의 제 2 측부에 형성된 운반 가스 인렛; 상기 챔버 월의 제 3 측부에 형성되고 상기 반응 챔버로 상기 운반 가스에 혼합된 상기 기상 전구체를 출력하는 전구체 아웃렛(outlet)을 포함하는 전구체 기화부를 포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成薄膜的前体供给装置，包括该薄膜的薄膜形成装置及使用它的薄膜形成方法。 根据本发明的一个实施方案的前体供应装置包括：用于储存液体原料的原料储存部分; 液滴供给部，其连接到所述原料收纳部，用于以液滴的形式排出所述液体原料; 以及前体蒸发部分，其包括室壁，液滴入口，加热部分，载体气体入口和前体出口，所述室壁限制蒸发空间，所述液滴入口形成在室壁的第一侧部分上 为了使液滴从液滴供给部通过到蒸发空间，加热部与蒸发空间连接，蒸发蒸发空间内的液滴，由此在蒸发空间中形成蒸气前体，载气入口形成在 用于将载气引入蒸发空间内的室壁的第二侧部分，并且前体出口形成在室壁的第三侧部上，用于将与载气混合的蒸气前体输出到反应室。

公开(公告)号：WO2014193086A1

公开(公告)日：2014-12-04

申请号：PCT/KR2014/003553

申请日：2014-04-23

Applicant: (주)솔라세라믹

Inventor： 류도형 ,  박성환 ,  김보민 ,  김병종 ,  송철규

IPC: H01B13/00

CPC classification number: H01L31/1884 ,  H01L31/022466 ,  Y02E10/50

Abstract: 불소가 도핑된 고투과율의 산화 주석 박막 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 불소가 도핑된 고투과율의 산화 주석 박막 제조 방법은 SnCl 4 ㆍ5H 2 O, SnCl 2 및 SnCl 2 ·2H 2 O 중 어느 하나와 NH 4 F, HF 및 acetyl fluoride 중 어느 하나를 용매에 혼합하여 F/Sn의 몰비가 0.4~1.4인 프리커서(precursor) 용액을 제조하는 단계; 및 기판 상에 상기 제조된 상기 프리커서 용액을 분사하여 상기 기판 상에 불소가 도핑된 산화 주석 박막(FTO)을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 프리커서 용액을 제조하는 단계는 물에 5~20%의 에탄올을 포함하는 용매를 이용하여 상기 프리커서 용액을 제조함으로써, 가시 광선 영역 뿐만 아니라 자외선 영역과 적외선 영역에서의 투과율을 높이고, 헤이즈(haze)를 향상시킬 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种形成具有高透射率的氟掺杂氧化锡膜的方法。 根据本发明的形成具有高透射率的氟掺杂氧化锡膜的方法包括以下步骤：通过将SnCl 4·5H 2 O，SnCl 2和/或SnCl 4中的任一种混合，制备F / Sn摩尔比为0.4〜1.4的前体溶液 SnCl 2·2H 2 O和NH 4 F，HF和乙酰氟中的任一种在溶剂中; 并通过将制备的前体溶液喷涂在基材上而在基材上形成氟掺杂的氧化锡（FTO）膜。 在制备前体溶液的步骤中，使用在水中含有5〜20％乙醇的溶剂来制备前体溶液，从而提高UV区域，IR区域以及可见光区域的透射率，并改善 阴霾。

公开(公告)号：WO2016028013A1

公开(公告)日：2016-02-25

申请号：PCT/KR2015/008116

申请日：2015-08-04

Applicant: (주)솔라세라믹

Inventor： 류도형 ,  박성환 ,  김병종 ,  김보민 ,  진은주

IPC: C03C27/12 ,  H01B5/14 ,  B32B17/00

CPC classification number: B32B17/00 ,  H01B5/14

Abstract: 본 발명은 고투명도 및 도전성 표면을 갖는 유리 적층 구조 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 적층 구조는 유리 기판; 상기 유리 기판의 제 1 면 상에 형성된 투명 유전체 장벽층; 상기 투명 유전체 장벽층 상에 형성된 불소 도핑된 주석 산화물(FTO)을 포함하는 투명 도전층; 및 상기 투명 유전체 장벽층이 형성된 상기 유리 기판의 상기 제 1 면과 반대되는 제 2 면 상에 형성되고, 상기 투명 유전체 장벽층과 동일한 재료를 포함하는 굴절율 조절층을 포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及具有高透明度和导电性表面的玻璃层叠结构体及其制造方法。 根据本发明的一个实施方案的玻璃层压结构包括：玻璃基板; 形成在玻璃基板的第一面上的透明介电阻挡层; 透明导电层，其形成在透明电介质阻挡层上并且包含氟掺杂氧化锡（FTO）; 以及折射率控制层，其形成在与形成有透明电介质阻挡层的玻璃基板的第一表面相对的第二表面上，并且包括与透明电介质阻挡层相同的材料。