케미컬 샘플링 장치
    1.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2021091313A1

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:PCT/KR2020/015523

    申请日:2020-11-06

    摘要: 실시예는 케미컬 유출 차단 장치에 관한 것으로, 케미컬이 토출되는 샘플링 라인의 출구단을 밀폐 가능하게 마련되는 엔드캡 부재; 및 상기 엔드캡 부재가 상기 출구단을 밀폐하는 제1위치 또는 상기 출구단을 개방시키는 제2위치에 위치하도록 상기 엔드캡 부재를 선택적으로 이동시키는 이동유닛;을 포함하는 것에 의하여, 케미컬의 누출을 방지하고 안전성 및 신뢰성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

    케미컬 필터 교체장치
    2.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022114441A1

    公开(公告)日:2022-06-02

    申请号:PCT/KR2021/009343

    申请日:2021-07-20

    IPC分类号: B01D46/00 B01D46/42

    摘要: 본 발명은 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄임과 동시에 간단한 구조로 이루어진 케미컬 필터 교체장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 구현하기 위한 케미컬 필터 교체장치는, 새 카트리지를 파지하여 필터 고정부에 안착시키기 위한 제1 파지부, 폐 카트리지를 상기 필터 고정부로부터 분리하기 위해 파지하는 제2 파지부를 포함하는 카트리지 이송부를 구비하고, 상기 카트리지 이송부는 상기 새 카트리지를 파지한 제1 파지부와 상기 폐 카트리지를 파지한 제2 파지부를 이송하도록 구비된다.

    매니폴드 어셈블리 및 이를 구비한 케미컬 샘플링 장치

    公开(公告)号:WO2021172894A1

    公开(公告)日:2021-09-02

    申请号:PCT/KR2021/002383

    申请日:2021-02-25

    摘要: 실시예는 매니폴드 어셈블리에 관한 것으로, 공용 챔버가 내부에 형성된 바디; 공용 챔버에 연결되며, 제1케미컬을 공급하는 제1케미컬유로; 제1케미컬유로를 선택적으로 개폐하는 제1밸브; 공용 챔버에 연결되며, 제2케미컬을 공급하는 제2케미컬유로; 제2케미컬유로를 선택적으로 개폐하는 제2밸브; 및 공용 챔버와 연결되며, 공용 챔버에 유입된 제1케미컬 또는 제2케미컬을 바디의 외부로 배출하는 배출유로;를 포함하는 것에 의하여, 케미컬의 배출, 세정, 및 샘플링 공정을 간소화하고 안정성 및 신뢰성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.