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1.2-ブロモ-2,2-ジフルオロエタノール及び2-(アルキルカルボニルオキシ)-1,1-ジフルオロエタンスルホン酸塩類の製造方法 审中-公开
Title translation: 2-溴-2,2-二氟乙醇和2-(烷基羰基)-1,1-二氟乙醇酸盐的制备方法公开(公告)号:WO2009037980A1
公开(公告)日:2009-03-26
申请号:PCT/JP2008/066041
申请日:2008-09-05
Applicant: セントラル硝子株式会社 , ジョドリ ジョナサン ジョアキム , 永盛 将士 , 萩原 勇士 , 藤原 昌生 , 成塚 智
Inventor: ジョドリ ジョナサン ジョアキム , 永盛 将士 , 萩原 勇士 , 藤原 昌生 , 成塚 智
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C381/12 , C07C29/147 , C07C309/08 , C07C309/12 , C07C31/34
Abstract: 式[1] (前記式[1]において、Aは置換もしくは非置換の炭素数1~20の直鎖状、分岐状又は環状のアルコキシ基、置換もしくは非置換の炭素数6~15のアリールオキシ基又は炭素数4~15のヘテロアリールオキシ基、又はハロゲンを表す。)で表されるブロモジフルオロ酢酸誘導体を、還元剤としてのアート型のヒドリド錯体によって還元することを含む、2-ブロモ-2,2-ジフルオロエタノールの製造方法が提供される。この2-ブロモ-2,2-ジフルオロエタノールを原料とし、順次エステル化工程、スルフィン化工程、酸化工程を行うことで、2-アルキルカルボニルオキシ-1,1-ジフルオロエタンスルホン酸塩類を得ることができる。
Abstract translation: 公开了一种2-溴-2,2-二氟乙醇的制备方法,其包括使用氢化物络合物作为还原剂还原由式[1]表示的溴二氟乙酸衍生物。 可以使用如此制得的2-溴-2,2-二氟乙醇作为起始原料,依次进行酯化步骤,硫化步骤和氧化步骤,从而制得2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸盐 其中A表示取代或未取代的具有1至20个碳原子的直链,支链或环状烷氧基,取代有未取代的碳原子数6〜15的芳氧基,碳原子数4〜15的杂芳氧基或卤素原子。
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2.新規含フッ素カルバニオン構造を有する塩及びその誘導体、光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法 审中-公开
Title translation: 含有氟化物的碳纳米管结构的新型盐,其衍生物,光致发电机,光电发生器的耐腐蚀材料和图案形成方法公开(公告)号:WO2009113508A1
公开(公告)日:2009-09-17
申请号:PCT/JP2009/054479
申请日:2009-03-10
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 永盛 将士 , 成塚 智 , 井上 進 , 久米 孝司
IPC: C07C317/18 , C07C381/12 , C08F20/26 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C381/12 , C07C317/18 , C07C2603/74 , C08F220/28 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/24 , C08F232/08
Abstract: 下記一般式(1)で示される含フッ素カルバニオン構造を有する酸もしくは含フッ素カルバニオン構造を有する塩が提供される。 この酸を発生させる化学増幅レジスト材料用の光酸発生剤を使用することによって、ArFエキシマレーザー光等に対して高感度で、発生する酸(光発生酸)の酸性度が十分高く、かつ、レジスト溶剤に対する高い溶解性及び樹脂に対する優れた相溶性を有する光酸発生剤及び、そのような光酸発生剤を含有するレジスト材料を提供できる。
Abstract translation: 公开了具有含氟碳负离子结构的酸或具有含氟碳负离子结构的盐,其由通式(1)表示。 通过使用产生酸的化学放大抗蚀剂材料的光致酸产生剂,可以获得对ArF准分子激光等高度敏感的光酸产生剂,并产生具有足够高酸度的酸(光酸)。 光致酸产生剂在抗溶剂溶剂中表现出高溶解性,同时具有优异的与树脂的相容性。 还公开了含有光致酸产生剂的抗蚀剂材料。
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3.
公开(公告)号:WO2009037981A1
公开(公告)日:2009-03-26
申请号:PCT/JP2008/066042
申请日:2008-09-05
Applicant: セントラル硝子株式会社 , 萩原 勇士 , 永盛 将士 , 藤原 昌生 , ジョドリ ジョナサン ジョアキム , 成塚 智
Inventor: 萩原 勇士 , 永盛 将士 , 藤原 昌生 , ジョドリ ジョナサン ジョアキム , 成塚 智
IPC: C07C29/147 , C07C31/34 , C07C303/00 , C07C309/08 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12
CPC classification number: C07C29/147 , C07C211/05 , C07C309/12 , C07C313/04 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: カルボン酸ブロモジフルオロエチルエステルを、スルフィン化剤を用いてスルフィン化する際に、有機塩基を使用することによって、2-(アルキルカルボニルオキシ)-1,1-ジフルオロエタンスルフィン酸アンモニウム塩を得る。これを酸化して2-(アルキルカルボニルオキシ)-1,1-ジフルオロエタンスルホン酸アンモニウム塩を得る。これを原料とし、オニウム塩に交換するか、鹸化・エステル化を経てオニウム塩に交換することで、2-アルキルカルボニルオキシ-1,1-ジフルオロエタンスルホン酸オニウム塩類を得る。
Abstract translation: 通过使用硫酸化剂将羧酸溴二氟乙酯磺化时,通过使用有机碱,得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。 通过氧化2-(烷基羰基氧基)-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐,得到2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙磺酸铵盐。 通过使用该2-(烷基羰氧基)-1,1-二氟乙磺酸铵盐作为原料,直接或通过皂化/酯化将其交换为鎓盐,可以得到2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸 盐盐
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